福州大学侯琳熙获国家专利权
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龙图腾网获悉福州大学申请的专利一种具有5nm以下特征尺寸且能高效自组装图案化的离子型均聚物获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119264307B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411669089.0,技术领域涉及:C08F112/14;该发明授权一种具有5nm以下特征尺寸且能高效自组装图案化的离子型均聚物是由侯琳熙;翁森;卢振;肖龙强设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有5nm以下特征尺寸且能高效自组装图案化的离子型均聚物在说明书摘要公布了:本发明公开了一种具有5nm以下特征尺寸且可高效自组装图案化的离子型均聚物及其制备方法,所述离子型均聚物是采用聚苯乙烯磺酸与长烷基链有机碱通过酸碱混合静电作用相连接而成,其工艺简单,且所得均聚物能够实现在室温、无溶剂条件下的高效自组装,并可获得特征尺寸低至3nm的圆柱状和4nm的层状纳米图案。本发明通过酸碱混合静电作用增强了均聚物主体和长烷基侧链的不相容性,且利用烷烃侧链长度可精准控制图案的特征尺寸和微观形状,为超高分辨率半导体光刻用图案化材料提供了一种便捷高效的新方向。
本发明授权一种具有5nm以下特征尺寸且能高效自组装图案化的离子型均聚物在权利要求书中公布了:1.一种具有5nm以下特征尺寸且能高效自组装图案化的离子型均聚物,其特征在于:其结构通式如下: , 其中,n=200-500,R来源于长烷基链有机碱; 所述长烷基链有机碱具体为如下结构式中的一种: 、,a=12-22,i=12-22。
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