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龙图腾网获悉集美大学申请的专利一种基于硅纳米膜的氢气传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119269587B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411318922.7，技术领域涉及：G01N27/12；该发明授权一种基于硅纳米膜的氢气传感器是由任子明;杨世杰;张中刚;柴进;王荣杰;蒋德松设计研发完成，并于2024-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于硅纳米膜的氢气传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于硅纳米膜的氢气传感器，包括氢敏材料、中心质量块、硅纳米膜压敏电阻、悬臂梁、金属引线、边框；所述氢敏材料沉积在中心质量块上，中心质量块位于四个悬臂梁中间，中心质量块与四个悬臂梁形成“万”字悬臂梁结构，四个悬臂梁的每个梁臂上都设有硅纳米膜压敏电阻，每个悬臂梁上还设有金属引线，金属引线连接压敏电阻形成惠斯通电桥，边框支撑起“万”字悬臂梁结构的四周。本发明提出一种基于硅纳米膜的氢气传感器，氢敏材料采用纳米多孔钯膜、压敏电阻采用硅纳米膜压敏电阻以及对悬臂梁进行局部间窄减薄，利用氢敏材料—“万”字悬臂梁结构和硅纳米膜敏感单元提高了传感器灵敏度以及响应速度。

本发明授权一种基于硅纳米膜的氢气传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于硅纳米膜的氢气传感器，其特征在于包括：氢敏材料1、中心质量块2、硅纳米膜压敏电阻3、第一悬臂梁41、第二悬臂梁42、第三悬臂梁43、第四悬臂梁44、金属引线5、边框6；所述氢敏材料1沉积在中心质量块2上，所述中心质量块2位于第一悬臂梁41、第二悬臂梁42、第三悬臂梁43、第四悬臂梁44的中间，所述第一悬臂梁41、第二悬臂梁42、第三悬臂梁43、第四悬臂梁44的梁臂上都设有硅纳米膜压敏电阻3，所述第一悬臂梁41、第二悬臂梁42、第三悬臂梁43、第四悬臂梁44上还都设有金属引线5，金属引线5连接硅纳米膜压敏电阻3形成惠斯通电桥，边框6支撑起第一悬臂梁41、第二悬臂梁42、第三悬臂梁43、第四悬臂梁44组合成的悬臂梁结构的四周； 中心质量块2与所述第一悬臂梁41、第二悬臂梁42、第三悬臂梁43、第四悬臂梁44形成“万”字悬臂梁结构； 氢气传感器通过氢敏材料1对氢气进行吸附时，中心质量块2质量发生改变，带动悬臂梁结构发生弯曲，悬臂梁结构的形变带来所述第一悬臂梁41、第二悬臂梁42、第三悬臂梁43、第四悬臂梁44应力的改变，对应的硅纳米膜压敏电阻3阻值变化，再通过惠斯通电桥将其转化为电压值的变化，最后以电信号输出，通过电压信号的变化检测出氢气浓度变化； 当悬臂梁结构的形变引起梁上应力的改变，对应的硅纳米膜压敏电阻3阻值发生变 化，其输出电压表示为:；其中，为输出 电压，为输入电压值，梁上各硅纳米膜压敏电阻3阻值相等，即；当梁 上硅纳米膜压敏电阻3受到同等应力时，此时梁上各硅纳米膜压敏电阻3的阻值变化量 相等，即,公式简化为：； 所述第一悬臂梁41、第二悬臂梁42、第三悬臂梁43、第四悬臂梁44组成“万”字梁结构，在悬臂梁两端设计应力集中区，即梁根处进行局部减薄和局部减窄处理。

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