买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉惠然微电子技术(无锡)有限公司申请的专利一种用于晶圆传送的装置、系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119297119B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411499245.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于晶圆传送的装置、系统及方法是由高文泉;金建高;赫文楠;霍志军设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆传送的装置、系统及方法在说明书摘要公布了：用于晶圆传送的装置、系统及方法，装置包括：密封组件，其包括密封传送装置及连接组件，连接组件包括连接板，传送组件包括密封板，传送组件能沿竖直方向移动以传送晶圆，并密封第二腔室，密封板上设置有第一和第二真空开口，连接板上设置有第一和第二真空管口；驱动机构，其包括驱动组件以及传动组件，传动组件相对于处理设备限位，并与密封板固定连接，驱动组件与传动组件在驱动斜面处抵接，使驱动组件的水平运动驱动传动组件垂直运动；真空组件，包括第一及第二真空组件，第一真空组件包括与第一真空开口连通的粗抽组件，以及用于封闭第一真空开口的第一阀板组件，第二真空组件包括精抽组件，以及用于封闭第二真空开口的第二阀板组件。

本发明授权一种用于晶圆传送的装置、系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆传送的装置，其特征在于，其用于在处理设备200的第一腔室210和第二腔室220之间移送晶圆90，所述装置包括： 密封组件10，其包括密封传送装置110以及与处理设备200固定连接的连接组件，连接组件包括连接板12，传送组件包括与连接板12沿竖直方向间隔设置的密封板11，所述传送组件能够相对于连接组件沿竖直方向移动以传送晶圆90，并相对第一腔室210密封第二腔室220，所述密封板11上设置有贯穿板面的第一真空开口111和第二真空开口112，所述连接板12上设置有贯穿板面的第一真空管口和第二真空管口； 驱动机构20，其包括驱动组件以及传动组件，所述驱动组件包括驱动件22以及由所述驱动件22驱动而沿第一水平方向移动的引导板21，所述传动组件包括随动轮222，传动组件沿第一水平方向相对于处理设备200限位，并与密封板11固定连接，所述引导板21具有由第一水平方向朝向竖直方向倾斜的驱动斜面，所述引导板21与随动轮222在所述驱动斜面处抵接，使所述引导板21的沿第一水平方向的运动驱动所述传动组件垂直运动； 真空组件30，其包括第一真空组件及第二真空组件，所述第一真空组件分别包括与密封板11上的第一真空开口111连通的粗抽组件33，以及用于封闭第一真空开口111的第一阀板组件，所述第二真空组件包括与第二真空开口112连通的精抽组件34，以及用于封闭第二真空开口112的第二阀板组件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人惠然微电子技术(无锡)有限公司，其通讯地址为：214151 江苏省无锡市惠山区钱桥大街141号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。