中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所张鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所申请的专利大尺寸衍射光波导元件制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119439336B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411712543.6，技术领域涉及：G02B5/18；该发明授权大尺寸衍射光波导元件制造方法是由张鹏;赵龙波;李文强;杜保林;宋志远;武晓军;李卓;郭峰;相广鑫设计研发完成，并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本大尺寸衍射光波导元件制造方法在说明书摘要公布了：本发明的大尺寸衍射光波导元件制造方法，包括以下步骤，制作光栅母版，其中，以大于等于6mm的硅或者石英玻璃为基底，利用全息‑离子束刻蚀技术，制作高精度的光栅母版；光栅母版减薄，其中，利用晶圆背部减薄技术加工所述基底形成模具，模具的厚度降低值1mm以下；所述模具利用纳米压印生产工艺进行复制，并成型模具的样品；样品进行波导键合工艺处理；所述初始键合样品进行切割工艺处理，保护光栅不受损，实现切割成型。
本发明授权大尺寸衍射光波导元件制造方法在权利要求书中公布了：1.一种大尺寸衍射光波导元件制造方法，其特征在于，包括以下步骤， 制作光栅母版，其中，以大于等于6mm的硅或者石英玻璃为基底，根据所述基底制作光栅母版，其中，所述基底采用在全息-离子束刻蚀工艺中加工成型； 光栅母版减薄，其中，利用晶圆背部减薄技术加工所述基底形成模具，模具的厚度降低值1mm以下； 所述模具利用纳米压印生产工艺进行复制，并成型模具的样品； 所述样品进行波导键合工艺处理，其中，所述样品利用晶圆键合的方法与厚度大于等于5mm的平板玻璃进行键合加工，得到初始键合样品，其中，所述样品在波导键合过程中利用气压的方法进行加工，并进行表面涂胶处理； 所述初始键合样品进行切割工艺处理，其中，初始键合样品利用激光切割的方法得到满足设计要求的波导元件，其中，所述初始键合样品采用双面激光切割的方法得到满足设计要求的波导元件。
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