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华南师范大学王幸福获国家专利权

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龙图腾网获悉华南师范大学申请的专利一种高散热GaN纳米线射频器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119486184B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411460168.0,技术领域涉及:H10D30/47;该发明授权一种高散热GaN纳米线射频器件及其制备方法是由王幸福;董泽鑫;杨玉青设计研发完成,并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高散热GaN纳米线射频器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明属于半导体器件技术领域,尤其涉及一种高散热GaN纳米线射频器件及其制备方法,该射频器件包括异质键合衬底、键合中间层、AlGaNGaN纳米线GaN沟道层、AlN插入层、AlGaN势垒层、GaN帽层、钝化层、电极层,其中电极层包括源极电极、栅极电极和漏极电极;钝化层通过正面沉积,覆盖纳米线和纳米线之间的间隙,实现高散热纳米线晶体管的制备,解决器件因自热效应造成的线性度降低;栅极开孔,控制每条纳米线上钝化层厚度,实现等差分布,利用跨导补偿效应提高器件线性度,能有效提高射频器件的栅压摆幅,从而极大地增强了器件的可用范围。

本发明授权一种高散热GaN纳米线射频器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高散热GaN纳米线射频器件,其特征在于,包括:异质衬底以及异质衬底上依次设置的SiO2键合层、GaN沟道层、AlN插入层、AlGaN势垒层、GaN帽层、第一钝化层、电极层及第二钝化层,所述电极层依次间隔设置源极电极、栅极电极和漏极电极,所述GaN沟道层、AlN插入层、AlGaN势垒层、GaN帽层构成纳米线阵列,通过刻蚀的方法制备,所述第一钝化层完全覆盖纳米线的上表面与侧边,所述第一钝化层的材料为氮化硼; 每条纳米沟道上方的第一钝化层厚度梯度渐变,改变每条纳米线器件的阈值电压,进而增加GaN纳米线射频器件的线粒度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华南师范大学,其通讯地址为:510000 广东省广州市天河区中山大道西55号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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