中国科学院西安光学精密机械研究所尹云飞获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利基于超快高精度激光扫描的镜面面形测量系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119509406B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411468722.X,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于超快高精度激光扫描的镜面面形测量系统及方法是由尹云飞;李朝辉;魏紫薇;赵建科;马臻;孙熙函;尹沙沙设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于超快高精度激光扫描的镜面面形测量系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于超快高精度激光扫描的镜面面形测量系统及方法,现有面形检测技术中的面形检测精度低、面形检测尺寸小、绝对定位精度不足,且易受环境中振动的问题,具体包括脉冲激光器、扩束分光模块、干涉模块、四步相移模块、探测模块、接收模块及上位机;脉冲激光器发射脉冲激光;扩束分光模块将脉冲激光分为相互平行的0级衍射光和±1级衍射光;干涉模块接收0级衍射光和±1级衍射光形成多级衍射干涉光;四步相移模块对多级衍射干涉光进行四步相移分光;探测模块接收相移光束,并进行光电转换形成0级相移信号、+1级相移信号和‑1级相移信号;接收模块接收0级相移信号、+1级相移信号和‑1级相移信号;上位机用于复原待测镜的面形信息。
本发明授权基于超快高精度激光扫描的镜面面形测量系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于超快高精度激光扫描的镜面面形测量系统,用于待测镜8的面形测量,其特征在于:包括脉冲激光器1、扩束分光模块2、干涉模块3、四步相移模块4、探测模块5、接收模块6以及上位机7; 所述脉冲激光器1发射脉冲激光; 所述扩束分光模块2将脉冲激光分为相互平行的0级衍射光和±1级衍射光; 所述干涉模块3接收0级衍射光和±1级衍射光,并使三者相应进入干涉模块3的测量光路和参考光路进行干涉后,形成多级衍射干涉光;所述待测镜8设置于0级衍射光、±1级衍射光的测量光路上; 所述四步相移模块4用于对多级衍射干涉光进行四步相移分光,形成相移光束;所述相移光束包括相位为0°的0级衍射干涉光和±1级衍射干涉光、相位为90°的0级衍射干涉光和±1级衍射干涉光、相位为180°的0级衍射干涉光和±1级衍射干涉光、相位为270°的0级衍射干涉光和±1级衍射干涉光; 所述探测模块5用于接收相移光束,并进行光电转换,形成0级相移信号、+1级相移信号和-1级相移信号; 所述接收模块6分别接收0级相移信号、+1级相移信号和-1级相移信号,并上传至上位机7; 所述上位机7用于对0级相移信号、+1级相移信号和-1级相移信号进行相位解包裹计算,显示线性测量数据,然后运用线性测量数据复原待测镜8的面形信息。
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