广东科优材料科技有限公司江波获国家专利权
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龙图腾网获悉广东科优材料科技有限公司申请的专利一种光刻胶组合物及其制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119556527B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510040997.1,技术领域涉及:G03F7/004;该发明授权一种光刻胶组合物及其制备工艺是由江波;王悦辉;周迎涛设计研发完成,并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶组合物及其制备工艺在说明书摘要公布了:本发明提供了一种光刻胶组合物及其制备工艺,该光刻胶组合物包括以下重量份原料:80.0‑100.0份溶剂、20.0‑40.0份树脂、3.0‑5.0份光引发剂、1.0‑3.0份光稳定剂、1.5‑2.5份增粘剂、1.0‑1.5份单体、1.0‑2.0份酸扩散抑制剂、0.5‑2.0份流平剂。其中的酸扩散抑制剂由质量体积比为2‑3:1‑2:1‑2的全氟环己烷、苯并‑15‑冠醚‑5、L‑乳酸乙酯组成。本发明通过不同酸扩散抑制剂的共同作用,减缓酸的扩散速度,使得曝光区域和非曝光区域之间的界限更加清晰,提高光刻胶的分辨率。通过对甲基丙烯酸树脂进行改性,使得树脂在曝光后的溶解性发生显著变化,从而使得光刻胶在显影液中更容易被去除,提高图案的清晰度和分辨率。
本发明授权一种光刻胶组合物及其制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种光刻胶组合物,其特征在于,包括以下重量份原料:80.0-100.0份溶剂、20.0-40.0份树脂、3.0-5.0份光引发剂、1.0-3.0份光稳定剂、1.5-2.5份增粘剂、1.0-1.5份单体、1.0-2.0份酸扩散抑制剂、0.5-2.0份流平剂,所述酸扩散抑制剂由质量体积比为2-3:1-2:1-2的全氟环己烷、苯并-15-冠醚-5、L-乳酸乙酯组成,其中的质量单位是g体积单位是mL; 所述树脂为改性甲基丙烯酸树脂,所述改性甲基丙烯酸树脂由以下方法制得:将甲基丙烯酸树脂加入到环己烷中,搅拌溶解,得到甲基丙烯酸树脂溶液,所述甲基丙烯酸树脂与环己烷质量体积比为1:4-6,其中的质量单位是g体积单位是mL;将所述甲基丙烯酸树脂溶液滴加到环氧氟丙烷中,再加入三乙胺作为催化剂,得到反应液,设置反应温度为60-80℃,搅拌反应20-30h,所述甲基丙烯酸树脂溶液、环氧氟丙烷、三乙胺体积比为8-12:4-6:0.4-0.6;反应结束后,将反应液冷却至室温并使用布氏漏斗进行过滤,取滤饼;使用乙醇洗涤滤饼2-3次,将洗涤后的滤饼置入真空干燥箱中,设置干燥温度为40-60℃、真空度为−0.08~−0.10MPa,干燥18-24h,即得改性甲基丙烯酸树脂; 所述光引发剂由质量体积比为2.0-3.0:0.5-1.0:1.0-1.5的稀土离子配合物、2-羟基-2-甲基苯丙酮、三苯基锍六氟锑酸盐组成,其中的质量单位是g体积单位是mL; 增粘剂由体积比为2-5:5-8的L-脯氨酸甲酯、六甲基二硅氮烷组成; 所述单体是1,1-二甲基乙基4-乙烯基苯基碳酸酯、4,4-联苯二甲醛、4,4'-双羟甲基联苯、3,4-羟基苯乙烯、1,3-二羟基金刚烷、1-甲基丙烯酰氧基-3-金刚烷醇、4-乙烯基苯酚醋酸酯其中的一种或几种组合。
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