连城凯克斯科技有限公司高树良获国家专利权
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龙图腾网获悉连城凯克斯科技有限公司申请的专利一种单晶硅片脱胶设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119560407B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411583830.1,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种单晶硅片脱胶设备是由高树良;李小锋;张怿设计研发完成,并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶硅片脱胶设备在说明书摘要公布了:本发明属于单晶硅片脱胶技术领域,具体的说是一种单晶硅片脱胶设备,包括用于盛装脱胶液的机体和若干用于支撑单晶硅片的承接组件,还包括:滑动安装在机体内的支架,支架用于放置晶托;两个对称安装在机体内的伸缩杆,承接组件安装在伸缩杆上,承接组件包括:固定安装在伸缩杆上的一号半环板;固定安装在一号半环板上的接板;安装在一号半环板上的擦块,擦块包括固定板和海绵块,海绵块安装在固定板靠近硅片的一侧;通过设置海绵块,避免了胶水在软化的过程中,流至硅片表面的问题,由于硅片与胶水之间存在黏附力的影响,因此相较于胶水流至硅片表面,该方式减少了硅片与胶水黏力的影响,可加快晶托与硅片的脱胶效率。
本发明授权一种单晶硅片脱胶设备在权利要求书中公布了:1.一种单晶硅片脱胶设备,包括用于盛装脱胶液的机体1和若干用于支撑单晶硅片的承接组件2,其特征在于,还包括: 滑动安装在所述机体1内的支架3,所述支架3用于放置晶托; 两组对称且滑动安装在所述机体1内的伸缩杆4,所述承接组件2安装在两个对称设置的所述伸缩杆4之间,所述承接组件2包括: 两个对称安装在所述伸缩杆4上的一号半环板21; 固定安装在所述一号半环板21上的接板22; 安装在所述一号半环板21上的擦块23,所述擦块23包括固定板231和海绵块232,所述海绵块232安装在所述固定板231靠近硅片的一侧; 所述承接组件2还包括: 两个固定安装在所述伸缩杆4上的固定杆24; 开设在所述一号半环板21上的凹槽25,所述擦块23通过固定板231在所述一号半环板21上滑动,所述凹槽25上含有若干所述擦块23; 转动安装在所述固定杆24上的二号半环板28; 连接所述二号半环板28和所述固定板231的连接杆29,若干所述连接杆29均匀分成两组,两组所述连接杆29分别与两个二号半环板28连接; 转动安装在所述固定杆24上的圆块210,所述圆块210用于驱动所述二号半环板28旋转。
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