道格特半导体科技(江苏)有限公司黎华盛获国家专利权
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龙图腾网获悉道格特半导体科技(江苏)有限公司申请的专利一种探针卡孔径的自适应检测方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119594924B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411543742.9,技术领域涉及:G01B21/14;该发明授权一种探针卡孔径的自适应检测方法及系统是由黎华盛;张冀阳;赵威风设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种探针卡孔径的自适应检测方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种探针卡孔径的自适应检测方法及系统,涉及孔径检测领域。所述方法包括:获得目标孔内图像;获得目标孔内清洁验证结果;当所述目标孔内清洁验证结果为通过时,获得实时载物台控制数据和实时目标定位数据;根据多级检测特征校验约束,获得检测特征验证结果;当所述检测特征验证结果为合格时,获得检测设备控制决策;基于自适应孔径检测算法,对所述目标探针卡进行检测,获得目标孔径检测报告。采用本方法解决了现有的探针卡孔径检测方法存在着检测误差高、精度差,难以满足对探针卡孔径检测的高精度需求的技术问题,实现了提高探针卡的孔径检测准确性,降低探针卡的孔径检测误差的技术效果。
本发明授权一种探针卡孔径的自适应检测方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种探针卡孔径的自适应检测方法,其特征在于,所述方法包括: 加载目标探针卡的规格型号属性信息和孔径检测精度参数; 根据图像采集装置采集所述目标探针卡的孔内图像数据,获得孔内图像采集结果,并根据Retinex算法对所述孔内图像采集结果进行图像增强,获得目标孔内图像; 基于探针卡孔内清洁检测器,根据所述目标孔内图像对所述目标探针卡进行孔内清洁验证,获得目标孔内清洁验证结果; 当所述目标孔内清洁验证结果为通过时,将所述目标探针卡放置于探针卡孔径检测装置的载物台上,获得实时载物台控制数据和实时目标定位数据; 基于所述规格型号属性信息,根据多级检测特征校验约束,对所述实时载物台控制数据和所述实时目标定位数据进行检测特征验证,获得检测特征验证结果; 当所述检测特征验证结果为合格时,将所述实时载物台控制数据和所述实时目标定位数据输入预先构建的检测设备控制决策模型,获得检测设备控制决策; 基于自适应孔径检测算法,根据所述孔径检测精度参数、所述检测设备控制决策和所述探针卡孔径检测装置对所述目标探针卡进行检测,获得目标孔径检测报告。
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