中北大学凌秀兰获国家专利权
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龙图腾网获悉中北大学申请的专利一种快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119618573B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411871361.3,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的方法及装置是由凌秀兰;颜兵;邵智聪;陈旭彬;庞昕玥设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的方法及装置在说明书摘要公布了:本发明属于光学薄膜激光损伤测量技术领域,公开了一种快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的方法及装置,本发明基于测量激光损伤过程中表面热反射率的变化来确定光学薄膜激光损伤阈值的方法。在激光辐照过程中,薄膜表面的温度将发生变化,薄膜表面的热反射率会随着表面温度的变化而变化;在激光损伤过程中,薄膜表面温度会急剧增大,因此,薄膜表面的热反射率也会急剧增大,通过测量薄膜表面反射率的相对变化情况,来确定光学薄膜激光损伤阈值。本发明可以快速实时地确定光学薄膜的激光损伤阈值。
本发明授权一种快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的装置,其特征在于,包括: 泵浦激光器,用于激发待测样品表面; 能量衰减器,包括可旋转的半波片和偏振片,用于调节泵浦激光输出的激光能量; 分光镜,用于分离泵浦激光器的光路,一部分光路用于样品激发,另一部分光路连接能量计测量激光能量; 聚焦透镜,用于将泵浦激光聚焦到待测样品表面; 安装待测样品的计算机控制移动平台,用于精确定位样品测试点; 快速、实时测量光学薄膜激光损伤阈值的方法包括以下步骤: 步骤1,启动泵浦激光器,准直激光器,合理的调节45度转折境,半反半透镜以及透镜的位置使得激光器输出的激光垂直辐照在待测样品上; 步骤2,通过透镜的移动调节结构,调整透镜位置使激光器,输出的激光在待测样品上有合适的光斑大小; 步骤3,启动探测激光器,调整光路,使探测激光器的探测激光与泵浦激光成一定的角度辐照在待测样品上,启动能量计及CCD在线损伤监测系统,调节能量计及Si雪崩光电二极管探测器和示波器,设置泵浦激光器的能量从小到大逐渐变化,同时测量样品表面的热反射信号; 随着泵浦激光器的能量密度的增加,观察并记录此时样品表面的热反射信号的强度,当样品表面的热反射率信号强度保持不变时对应的最小激光能量就是光学薄膜的损伤阈值。
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