大连理工大学闫英获国家专利权
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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利基于近场光学振幅和相位解析的硬脆材料致密化检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119619553B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411811917.X,技术领域涉及:G01Q60/18;该发明授权基于近场光学振幅和相位解析的硬脆材料致密化检测方法是由闫英;姜博;周平设计研发完成,并于2024-12-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于近场光学振幅和相位解析的硬脆材料致密化检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于近场光学振幅和相位解析的硬脆材料致密化检测方法,先确定样品的扫描参数,然后使用扫描近场光学显微系统获得硬脆材料样品的近场振幅或相位,直接得到近场振幅或相位和致密化率之间的对应关系,进而得到不同位置处的致密化率。本发明通过探测器收集并分析探针散射的样品表面的光学信号进行成像,因此成像的分辨率主要取决于探针尖端的制造精度,而所述探针的尖端曲率半径在10nm量级,超越经典衍射分辨极限,因此可以实现高精度的探测。又因为是样品表面的光学信号进行分析,因此不会对样品表面产生破坏,可以实现致密化的无损检测。本发明较高的测试效率有效地解决了测试效率低及其带来的长时间扫描样品热漂移问题。
本发明授权基于近场光学振幅和相位解析的硬脆材料致密化检测方法在权利要求书中公布了:1.一种基于近场光学振幅和相位解析的硬脆材料致密化检测方法,其特征在于:包括如下步骤: 步骤一、通过纳米压痕的方式预制致密化,在硬脆材料表面形成纳米压痕区域,压痕载荷为100~500mN; 步骤二、使用纳米红外光谱系统对所述纳米压痕区域的不同位置进行红外吸收测试,得到纳米红外光谱图,确定产生峰值强度最高的激发光波长为最优纳米红外吸收峰; 步骤三、散射式扫描近场光学显微系统以所述最优纳米红外吸收峰对应波数的红外光对所述纳米压痕区域进行全范围图像扫描,获得纳米压痕区域的近场光学振幅和相位扫描图像; 步骤四、对所述压痕区域范围的近场振幅和相位扫描图像进行数据提取,获得压痕和基底不同位置处近场振幅和相位的变化规律;通过探究不同致密化率对应的近场振幅和相位变化,确定振幅和相位与致密化之间的对应关系; 步骤五、根据所述近场振幅和相位与致密化之间的对应关系以及纳米压痕区域近场相位的变化规律,计算纳米压痕区域不同位置处的致密化率。
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