东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司刘天胜获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利深紫外显微镜物镜以及显微镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119667902B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411920101.0,技术领域涉及:G02B13/00;该发明授权深紫外显微镜物镜以及显微镜是由刘天胜;李腾飞设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本深紫外显微镜物镜以及显微镜在说明书摘要公布了:本发明提供了一种深紫外显微镜物镜以及显微镜。其中深紫外显微镜物镜包括:依次从物方至像方同光轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及第八透镜。本发明的方案,针对260至262nm波长范围设计,在该波长范围内分辨率的设计值与理论值一致;并且完全实现自主设计,解决了现有50倍物镜无法满足光学检测中很多使用需求的问题;通过对各个透镜的具体参数和结构进行设置,使得深紫外显微镜物镜的放大倍率为50倍,物方视场为0.6mm,能够搭配使用200mm焦距的管镜,工作距离为13mm,数值孔径为0.528,提高深紫外显微镜物镜的物方视场和工作距离,进而提升显微镜的整体性能。
本发明授权深紫外显微镜物镜以及显微镜在权利要求书中公布了:1.一种深紫外显微镜物镜,其特征在于,包括: 依次从物方至像方同光轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及第八透镜; 所述第一透镜面向物方为凹面,面向像方为凸面;所述第二透镜面向物方为凹面,面向像方为凸面;所述第三透镜面向物方为凹面,面向像方为凸面;所述第四透镜面向物方为凸面,面向像方为凸面;所述第五透镜面向物方为凸面,面向像方为凹面;所述第六透镜面向物方为凹面,面向像方为凸面;所述第七透镜面向物方为凹面,面向像方为凸面;所述第八透镜面向物方为凸面,面向像方为凹面; 并且,具有光焦度的透镜为8片; 所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜、所述第四透镜、所述第五透镜、所述第七透镜为正透镜; 所述第六透镜、所述第八透镜为负透镜; 所述深紫外显微镜物镜的放大倍率为50倍,物方视场为0.6mm,数值孔径为0.528。
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