浙江大学杭州国际科创中心徐月暑获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学杭州国际科创中心申请的专利基于光纤激光器阵列的掩模版缺陷检测系统与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119738998B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411990593.0，技术领域涉及：G03F1/44；该发明授权基于光纤激光器阵列的掩模版缺陷检测系统与方法是由徐月暑;周毅铖;匡翠方;徐良;刘旭设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于光纤激光器阵列的掩模版缺陷检测系统与方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于光纤激光器阵列的多光束共焦掩模版缺陷检测系统与方法，本发明基于光纤激光器阵列获得多点扫描光场作为照明光源，并可基于激光器阵列的排布实现对扫描光场的调控，通过运动台以及多面转镜的共同作用，实现快速准确的掩模二维扫描成像，并基于共聚焦显微成像方法，搭配高倍显微物镜以及光电倍增管实现掩模缺陷的高分辨率检测。相比较于传统的点扫描式掩模缺陷检测系统，本发明具有检测分辨率高，扫描速度快，多点扫描光场可自由调控以及无需引入额外衍射光学元件等优势。
本发明授权基于光纤激光器阵列的掩模版缺陷检测系统与方法在权利要求书中公布了：1.一种基于光纤激光器阵列的多光束共焦掩模版缺陷检测系统，其特征在于，包括： 光纤激光器阵列，包括多点扫描光场作为系统光源； 准直透镜、反射器和第一分束器，所述光纤激光器阵列与准直透镜相连接，准直后的入射光线经反射器，通过第一分束器将入射光线分成两束独立的光束； 多面转镜、第二分束器和第三分束器，多面转镜用于偏转经过第一分束器独立出的其中一束入射光线，使其穿过成像透镜，扩束至第二分束器和第三分束器； 四分之一波片，用于将经过第二分束器和第三分束器分束后的线偏光调制为圆偏振光； 显微物镜，用于聚焦圆偏振光至待测掩模版表面； 运动台，用于固定待测掩模版，实现对掩模版的快速二维扫描； 差动共焦模块，用于帮助显微物镜进行准确定焦； 光电倍增管探测器，对待测掩模版表面的反射光沿原光路返回至第一分束器分束后进行分析，获得对应反射光的强度信息； 时钟同步模块，用于分析入射光线经过第二分束器分束后的另一束线偏光，获得冲激信号的时间序列。
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