东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司孙炳晖获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利密封阀及扫描电镜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119755335B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411920108.2，技术领域涉及：F16K1/18；该发明授权密封阀及扫描电镜是由孙炳晖设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本密封阀及扫描电镜在说明书摘要公布了：本申请公开了一种密封阀及扫描电镜，密封阀包括密封件、施力件和调节件，密封件包括用于封堵的密封面和开设于密封面背面的安装凹部；施力件用于向密封件提供的压力，包括朝向开口延伸的悬臂，悬臂能够伸入安装凹部配置，悬臂的自由端的表面呈朝向密封件凸出的曲面；调节件，可滚动地设置于安装凹部内并与自由端的曲面滚动配合。本申请的密封阀及扫描电镜能够对密封件的安装角度进行较大范围的调节，保证密封件达到水平度要求，保证真空密封的效果。
本发明授权密封阀及扫描电镜在权利要求书中公布了：1.一种密封阀，其特征在于，包括： 密封件10，用于密封待封堵的开口，所述密封件10包括用于封堵的密封面11和开设于所述密封面11背面的安装凹部12，所述安装凹部12包括传动部122，所述传动部122的表面呈弧形凹面结构； 施力件30，用于向所述密封件10提供压力，所述施力件30包括朝向所述开口延伸的悬臂31，所述悬臂31能够伸入所述安装凹部12配置，所述悬臂31的自由端311的表面呈朝向所述密封件10凸出的曲面； 调节件20，所述调节件20呈球体结构，可滚动地设置于所述安装凹部12的所述传动部122内并与所述自由端311的曲面滚动配合。
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