东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司杨彩虹获国家专利权
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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司申请的专利一种电子束成像设备的消像散方法、产品及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119764148B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411943595.4，技术领域涉及：H01J37/153；该发明授权一种电子束成像设备的消像散方法、产品及设备是由杨彩虹;韩春营;宁丰;贾锡文;刘成成设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电子束成像设备的消像散方法、产品及设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造与检测领域，特别是涉及一种电子束成像设备的消像散方法、产品及设备。该消像散方法包括：搜索电子束成像设备中消像散器的目标像散参数；按照设定步长对预调物镜电流进行逐步调节，并采集不同物镜电流对应的多张细聚焦图像；计算多张细聚焦图像在不同坐标轴方向上的梯度；根据梯度的一致性判断目标像散参数是否符合消像散要求；若是，根据梯度确定电子束成像设备的目标物镜电流。本发明的消像散方法在确定消像散器的目标像散参数之后执行对目标像散参数的评判操作，提高了消像散的准确性，避免了由于应用错误的消像散结果导致的量测准确性较低的问题，从而提高了电子束成像设备的量测准确性。
本发明授权一种电子束成像设备的消像散方法、产品及设备在权利要求书中公布了：1.一种电子束成像设备的消像散方法，包括： 搜索所述电子束成像设备中消像散器的目标像散参数； 按照设定步长对预调物镜电流进行逐步调节，并采集不同物镜电流对应的多张细聚焦图像； 计算所述多张细聚焦图像在不同坐标轴方向上的梯度； 根据所述梯度计算所述多张细聚焦图像的X轴梯度分数变化曲线以及Y轴梯度分数变化曲线； 判断所述X轴梯度分数变化曲线的对称轴与所述Y轴梯度分数变化曲线的对称轴是否一致； 若一致，则确认所述目标像散参数符合消像散要求，将与所述对称轴对应的物镜电流值作为所述电子束成像设备的目标物镜电流； 若不一致，则确认所述目标像散参数不符合消像散要求。
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