中国科学院西安光学精密机械研究所陈泽宇获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院西安光学精密机械研究所申请的专利空气折射率自修正双频激光干涉仪及波前像差检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119779634B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411894501.9,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权空气折射率自修正双频激光干涉仪及波前像差检测方法是由陈泽宇;薛勋;贺益凡;常宁设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本空气折射率自修正双频激光干涉仪及波前像差检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种空气折射率自修正双频激光干涉仪及波前像差检测方法,解决了对于大口径光学系统,由于空间位置对空气折射率的影响,导致无法准确测量波前像差的问题。本发明提供的一种空气折射率自修正双频激光干涉仪及波前像差检测方法,分别计量一倍频激光和二倍频激光测量对应参考镜和待测镜各空间位置之间的光程差,构建一仅由一倍频激光和二倍频激光波长决定的实际校正因子,进而得到待测镜各空间位置的波前像差,实现空气折射率自修正的波前像差检测,其检测精度更高,环境适应性更强,使用更方便。
本发明授权空气折射率自修正双频激光干涉仪及波前像差检测方法在权利要求书中公布了:1.一种空气折射率自修正双频激光干涉仪,其特征在于: 包括双频产生模块19、干涉模块20及信号接收模块21; 所述双频产生模块19的出射端与干涉模块20的入射端光路连通;所述双频产生模块19用于向干涉模块20出射一倍频激光和二倍频激光合束形成的I0方向线偏振双频激光; 所述干涉模块20包括第二分束器9、参考镜10、第一四分之一波片11、第二四分之一波片13、光栅14及偏振片阵列15; 所述第二分束器9与双频产生模块19的出射端光路连通;所述参考镜10和第一四分之一波片11沿远离第二分束器9的方向依次设置在第二分束器9的透射侧光路上;所述第一四分之一波片11远离参考镜10的一侧用于设置待测镜12;所述参考镜10为半透半反镜;所述第二四分之一波片13、光栅14及偏振片阵列15沿远离第二分束器9的方向依次设置在第二分束器9的返射侧光路上;所述偏振片阵列15远离光栅14的一端为干涉模块20的出射端;所述第二分束器9用于将I0方向线偏振双频激光透射至参考镜10,一部分I0方向线偏振双频激光被参考镜10反射,另一部分被参考镜10透射后经第一四分之一波片11旋光到达待测镜12,再经待测镜12反射后经第一四分之一波片11再次旋光形成I1方向线偏振双频激光,I1方向线偏振双频激光经参考镜10透射后与被参考镜10反射的I0方向线偏振双频激合束形成I01合束激光;I01合束激光被第二分束器9反射至第二四分之一波片13,经第二四分之一波片13旋光后经光栅14分为多束不同相位的I01分光,偏振片阵列15改变每束I01分光的偏振状态后,每束I01分光各自干涉,则每束I01分光均包括一倍频干涉光和二倍频干涉光;I1方向与I0方向的差值为90°; 所述信号接收模块21的入射端与干涉模块20的出射端光路连通,用于接收所有一倍频干涉光和二倍频干涉光,并将其在空间上分离,而后分别进行探测,相应得到第一探测信息和第二探测信息。
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