哈尔滨工业大学常笛获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种基于沃拉斯顿棱镜和四象限探测器的二轴零差光栅干涉位移测量方法及其系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119803308B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510002579.3,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种基于沃拉斯顿棱镜和四象限探测器的二轴零差光栅干涉位移测量方法及其系统是由常笛;宋墩博;黄亚涛;谭久彬设计研发完成,并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于沃拉斯顿棱镜和四象限探测器的二轴零差光栅干涉位移测量方法及其系统在说明书摘要公布了:一种基于沃拉斯顿棱镜和四象限探测器的二轴零差光栅干涉位移测量方法及其系统,属于光栅干涉位移测量领域,适用于水平和垂直位移同步测量的二轴零差光栅干涉位移测量。用于解决现有技术在二轴零差光栅干涉位移测量场合存在的,沃拉斯顿棱镜WP与四象限探测器QPD不适配的问题。本发明通过旋转光路的某个器件或光束的偏振方向,使得双光束光轴连线方向与沃拉斯顿棱镜分界面法方向垂直,此时双光束通过沃拉斯顿棱镜形成正方形分布的四个光斑,不仅解决了双轴平行光与旋转沃拉斯顿棱镜存在的光程不匹配问题,又实现了四象限探测器四个像元的有效利用。
本发明授权一种基于沃拉斯顿棱镜和四象限探测器的二轴零差光栅干涉位移测量方法及其系统在权利要求书中公布了:1.一种基于沃拉斯顿棱镜和四象限探测器的二轴零差光栅干涉位移测量方法,其特征在于,方法为: S1:对光源发出的光束分光处理为双轴平行光; S2:双轴平行光经过干涉镜组,分为参考光和测量光,参考光被反射回干涉镜组;测量光经过折光元件,入射到测量光栅发生衍射并原路返回干涉镜组,与参考光重合;重合后的两光束入射四通道干涉光接收单元,先经过非偏振分光棱镜NPBS2和第三波片QWP组合件分为两部分,两部分再分别经过第一WP和第二WP,通过调整光路中光学元件的姿态或入射光偏振方向,使得两部分光各自在QPD上产生一组正方形分布的四个光斑; S3:对四个光斑信号进行光电探测和信号处理,实现位移信息的解算。
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