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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利基于散射光成像的光学元件真空皮秒激光损伤在线检测装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804453B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411835150.4，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权基于散射光成像的光学元件真空皮秒激光损伤在线检测装置与方法是由刘晓凤;帅坤;赵元安;李大伟;张苗苗;方佳奇;连亚飞;邵建达设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于散射光成像的光学元件真空皮秒激光损伤在线检测装置与方法在说明书摘要公布了：一种基于散射光成像实现光学元件真空皮秒激光损伤在线检测装置和方法，该装置包括：皮秒激光器、第一反射镜、真空舱室、二维位移样品台、CCD成像系统、第一吸收阱、第二吸收阱、第一连续变倍扩束镜、第二反射镜、第一探测激光器、第二连续变倍扩束镜、第三反射镜、第二探测激光器和控制计算机。该方法利用所述的CCD相机捕捉由探测激光辐照元件损伤测试区域产生的暗场散射光图像，并根据测试激光辐照前后的散射光图像对比实现光学元件真空皮秒激光损伤的精确诊断。该方法灵活便利，探测光可根据待测光学元件性质从其前表面或后表面入射，利用损伤点物像的散射光增强信号，提高成像系统对皮秒激光诱导产生的典型点状损伤形貌的检测分辨极限。

本发明授权基于散射光成像的光学元件真空皮秒激光损伤在线检测装置与方法在权利要求书中公布了：1.一种基于散射光成像的光学元件真空皮秒激光损伤线检测方法，其特征在于，使用光学元件真空皮秒激光损伤在线检测装置，该装置包括：真空舱室103，设有入射窗口104、衍射窗口107、探测窗口109、反射窗口111和透射窗口113，分别用于导入损伤测试激光以及导出所述损伤测试激光经待测光学元件105产生的衍射光、反射光和透射光； 二维位移样品台106，置于真空舱室103内，用于固定待测光学元件105并可在二维平面上移动，且移动平面垂直于所述真空舱室103的探测窗口109的法线； CCD成像系统110，固定于所述真空舱室103的探测窗口109，且垂直于所述待测光学元件105的表面，用于捕捉待测光学元件105表面的图像以检测激光损伤； 第一探测激光器116和第二探测激光器119，分别用于产生辐射待测光学元件105前表面和后表面的探测光，以覆盖激光损伤测试区域； 计算机120，用于控制CCD成像系统110在单次激光脉冲辐照待测光学元件105前后分别对损伤测试区域进行拍照，并根据所拍摄的两幅图像自动建立激光辐照前和激光辐照后测试区域的缺陷信息表格，通过比较两个表格中的缺陷位置坐标及尺寸大小来判断测试区域是否发生损伤； 还包括分别设置于所述第一探测激光器116和第二探测激光器119输出光路上的第一连续变倍扩束镜114和第二连续变倍扩束镜117，用于调节所述探测光的光斑面积大于所述损伤测试激光的光斑面积，以确保覆盖所有损伤测试区域； 待测光学元件105为介质膜光栅，为确保所述衍射光偏离所述CCD成像系统的视场范围，需满足如下公式： Dsinθ0+sinθ＝λ， 其中，θ为入射角，λ为探测光的波长，θ为衍射角，D为光栅周期，d与f分别为CCD成像系统的通光口直径与焦距； 该方法包括下列步骤： ①将真空舱室108抽真空，设置皮秒激光器101以固定频率输出测试所需的皮秒激光，启动所述第一探测激光器116或第二探测激光器119； ②计算机120控制CCD成像系统110在单次激光脉冲辐照待测光学元件105辐照前后分别对损伤测试区域进行拍照； ③计算机120根据CCD成像系统110拍摄的两幅图像自动建立激光辐照前和激光辐照后测试区域所存在的缺陷信息表格，包括缺陷位置坐标及尺寸大小； ④计算机120对已建立的两个缺陷信息表格进行比较，若两个表格中缺陷的位置坐标及大小没有变化，则认定测试区域未发生损伤；若激光辐照后的表格相比于激光辐照前的表格，出现新的缺陷点或者出现缺陷点变大的情况，则认定测试区域发生损伤。

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