广东工业大学陶丽丽获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种半金属相二碲化钼薄膜、可饱和吸收体、脉冲光纤激光器及其制备与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119812921B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411838204.2,技术领域涉及:H01S3/1118;该发明授权一种半金属相二碲化钼薄膜、可饱和吸收体、脉冲光纤激光器及其制备与应用是由陶丽丽;叶韫设计研发完成,并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半金属相二碲化钼薄膜、可饱和吸收体、脉冲光纤激光器及其制备与应用在说明书摘要公布了:本发明属于被动锁模光纤激光器技术领域,具体涉及一种半金属相二碲化钼薄膜、可饱和吸收体、脉冲光纤激光器及其制备与应用。本发明采用磁控溅射法与CVD法结合的方式制备半金属相二碲化钼薄膜,工艺简单,成本低,易于操作,制备的半金属相二碲化钼薄膜,该薄膜分步均匀,面积大,纳米尺寸且质量稳定,不易被氧化,具有良好的稳定性和二维过渡金属硫族化合物的显著优点,可获得调制深度大,脉宽窄的超快激光,可长时间用于激光锁模,且基于该薄膜材料作为器件所得到的锁模激光性能十分稳定,可应用于激光器领域。
本发明授权一种半金属相二碲化钼薄膜、可饱和吸收体、脉冲光纤激光器及其制备与应用在权利要求书中公布了:1.一种半金属相二碲化钼薄膜的制备方法,其特征在于包含如下步骤: 1钼薄膜的溅射:以Mo多晶块体作为靶材,采用磁控溅射法在SiO2Si衬底上制备Mo薄膜,得到镀有Mo薄膜的SiO2Si衬底;溅射完成后,待腔内温度冷却至30~35℃以下后将镀有Mo薄膜的SiO2Si衬底取出; 2半金属相二碲化钼薄膜的制备:将碲粉、镀有Mo薄膜的SiO2Si衬底和NaCl颗粒置于双温区管式炉中,其中,碲粉置于双温区管式炉的上温区中,镀有Mo薄膜的SiO2Si衬底和NaCl颗粒置于双温区管式炉的下温区,上温区温度设置为580~600℃,下温区温度设置为650~700℃,在氮氢混合气体保护的条件下,上温区和下温区均保温35~40min以碲化处理,然后自然降温,得到载有半金属相二碲化钼薄膜的SiO2Si衬底; 3半金属相二碲化钼薄膜的剥离:将溶剂均匀旋涂在步骤2制得的半金属相二碲化钼薄膜表面并烘干,然后将SiO2Si衬底浸入刻蚀液中进行刻蚀,刻蚀后的SiO2Si衬底放入水中洗涤浸泡直至半金属相二碲化钼薄膜与SiO2Si衬底分离,得到半金属相二碲化钼薄膜。
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