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龙图腾网获悉中国科学院上海光学精密机械研究所申请的专利一种基于迈克尔逊干涉仪的推挽式光纤MEMS加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119827794B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411840727.0，技术领域涉及：G01P15/03；该发明授权一种基于迈克尔逊干涉仪的推挽式光纤MEMS加速度计是由刘泽禧;高侃;皮浩洋;何佳晶;叶青设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于迈克尔逊干涉仪的推挽式光纤MEMS加速度计在说明书摘要公布了：一种基于迈克尔逊干涉仪的推挽式的光纤MEMS加速度计，包括机械组件和两根传感光纤，机械组件由固定底座和加速度传感芯片构成，加速度传感芯片则包括外部框架、质量块和两组弹簧悬臂梁，外部框架上设有细光纤槽，质量块上设有两个作为反射面的凸型结构，传感光纤端面与质量块凸型结构顶面之间构成两个空气腔，作为迈克尔逊干涉仪的传感臂。当加速度计受到外界加速度作用时，质量块相对于外部框架移动，带动两个空气腔的腔长呈推挽式变化，从而改变光程并产生干涉信号。通过光电探测器、数据采集电路和计算机对干涉信号进行采集和解调，可以得到振动加速度信号。本发明具有灵敏度高、噪声共模抑制能力强等优点，适用于各种动态振动响应测量场合。

本发明授权一种基于迈克尔逊干涉仪的推挽式光纤MEMS加速度计在权利要求书中公布了：1.基于迈克尔逊干涉仪的推挽式的光纤MEMS加速度计，其特征在于：包括机械组件1和两根传感光纤20； 所述机械组件1包括一个固定底座11和一个加速度传感芯片12，其中，所述固定底座11具有四个固定螺孔111和两个粗光纤槽112，所述固定底座11的中间位置向下镂空，为所述加速度传感芯片12的弹簧-质量块振子结构提供空间，使其能够在外界加速度作用下沿着敏感轴方向自由活动；所述固定螺孔111用于固定安装所述的机械组件1；所述的粗光纤槽112用于固定传感光纤20； 所述加速度传感芯片12包括一个外部框架121、一个质量块123和两组弹簧悬臂梁122，其中，所述外部框架121呈回字结构，左右两侧各有一个细光纤槽1211，用于固定剥去涂覆层后的传感光纤20；所述质量块123上设有两个凸型结构1231，该凸型结构1231的顶面作为反射面，将传感光纤20出射的激光反射使其重新耦合到传感光纤20中；所述弹簧悬臂梁122连接外部框架121和质量块123共同构成弹簧-质量块振子结构； 所述两根传感光纤20的端面磨有倾斜角度并镀有增透膜，其裸纤部分和带涂覆层部分分别固定在所述加速度传感芯片12的细光纤槽1211和固定底座11的粗光纤槽112上，且两根传感光纤20端面和质量块123的两个凸型结构1231的顶面之间构成两个空气腔，所述两个空气腔的腔长在发生相对位移的质量块123的带动下产生变化，进而导致光程变化； 所述两根传感光纤20采用相同的长度，以形成迈克尔逊平衡干涉仪结构，且从所述加速度传感芯片12内引出后并排紧贴放置，以确保迈克尔逊干涉仪的两臂处于噪声共模状态，即两臂所受到的噪声具有相同的特性和来源，呈现出高度的一致性和同步性；当所述质量块123沿敏感轴方向移动时，会同时改变所述两个空气腔的腔长，但方向相反，从而实现推挽式变化； 所述弹簧悬臂梁122在蛇形折叠梁1221的基础上增加中间竖梁1222，并在梁的两侧增加半圆环状的小弯曲梁1223，以增加非敏感轴方向的刚度；所述两根传感光纤20的端面磨有8°倾斜角度，并镀有增透膜以提高光的耦合效率。

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