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龙图腾网获悉三河建华高科有限责任公司申请的专利一种用于匀胶显影设备的调度方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119846910B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510080298.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种用于匀胶显影设备的调度方法是由徐志兵;方敏晰;张佩怡;沈昭;毕晟设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于匀胶显影设备的调度方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于匀胶显影设备的调度方法，涉及半导体加工领域，包括第一机械手和第二机械手，定义加工件为片，所述方法包括如下步骤：S1、检测第一机械手和第二机械手的状态，并根据检测结果选择进入以下步骤之一：若第一机械手和第二机械手上都无片，则进入步骤S2；若第一机械手和第二机械手上都有片，则进入步骤S3；若第一机械手和第二机械手中有一个手上有片，则进入步骤S4；S2、检测料盒中有无待加工片；该用于匀胶显影设备的调度方法，通过优化机械手的调度策略，使得所有加工单元都得到充分利用，避免了空闲单元的出现，显著提高了加工单元的利用率，从而提高了整个系统的生产效率。

本发明授权一种用于匀胶显影设备的调度方法在权利要求书中公布了：1.一种用于匀胶显影设备的调度方法，包括第一机械手和第二机械手，其特征在于，定义加工件为片，所述方法包括如下步骤： S1、检测第一机械手和第二机械手的状态，并根据检测结果选择进入以下步骤之一： 若第一机械手和第二机械手上都无片，则进入步骤S2； 若第一机械手和第二机械手上都有片，则进入步骤S3； 若第一机械手和第二机械手中有一个手上有片，则进入步骤S4； S2、检测料盒中有无待加工片，并根据检测结果执行以下操作之一： 若有待加工片，则执行从料盒取片动作； 若无待加工片，则执行从加工单元按配方顺序取等待时间最长的片动作； S3、检测有无交换片的条件，并根据检测结果选择进入以下步骤之一： 若有交换片条件，则执行交换片动作； 若无交换片条件，则检测是否有空闲单元，并根据检测结果选择进入以下步骤之一：若检测到有空闲单元，则执行将第一机械手和第二机械手将手上的片放到空闲单元的动作；若未检测到空闲单元，则返回步骤S1； S4、检测有无空闲单元，并根据检测结果选择进入以下步骤之一： 若有空闲单元，则执行将第一机械手和第二机械手中的片放到空闲单元的动作； 若无空闲单元，则检测有无交换片条件，并根据检测结果执行以下操作之一：若有交换片条件，则按配方要求与等待时间最长的片交换；若无交换片条件，则执行从加工单元按配方顺序取等待时间最长的片动作。

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