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龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利一种晶圆清洗设备多腔体药液智能循环控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119864289B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510039400.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆清洗设备多腔体药液智能循环控制方法是由江永;熊伟设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗设备多腔体药液智能循环控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及信息技术领域，具体涉及半导体晶圆清洗技术的一种晶圆清洗设备多腔体药液智能循环控制方法，包括：将计算得到的优化参数发送至对应清洗腔体的控制单元，调整该腔体循环泵的实际工作流量和过滤装置的实际工作状态，对该腔体的药液循环使用过程进行动态优化，使药液质量恢复至工艺要求范围内；针对不同晶圆产品的清洗工艺要求，预先建立各清洗腔体的药液质量参数阈值范围，在晶圆清洗设备切换产品型号时，根据产品型号自动匹配各腔体对应的药液质量控制阈值，实现分腔体药液循环模式和参数的动态调整。

本发明授权一种晶圆清洗设备多腔体药液智能循环控制方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗设备多腔体药液智能循环控制方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤： 步骤S1、获取多个清洗腔体中药液循环使用过程的实时数据，具体包括各腔体的药液浓度、温度和酸碱度的参数，利用安装在各腔体循环管路关键位置的浓度传感器、温度传感器和pH传感器采集所述数据，并记录各腔体药液的使用时长； 所述步骤S1包括: 获取安装在各清洗腔体循环管路关键位置的浓度传感器、温度传感器和pH传感器的实时采集数据； 根据所述浓度传感器采集的数据，判断各清洗腔体内药液的实时浓度是否符合预设范围，若低于所述预设范围则控制加药装置向所述清洗腔体内添加药液，直至浓度达到所述预设范围； 根据所述温度传感器采集的数据，判断各清洗腔体内药液的实时温度是否符合预设范围，若低于所述预设范围则控制加热装置对所述清洗腔体内药液进行加热，直至温度达到所述预设范围； 根据所述pH传感器采集的数据，判断各清洗腔体内药液的实时酸碱度是否符合预设范围，若超出所述预设范围则控制加酸或加碱装置向所述清洗腔体内添加酸液或碱液，直至酸碱度达到所述预设范围； 将各清洗腔体内药液的所述实时浓度、所述实时温度和所述实时酸碱度数据进行汇总，得到各清洗腔体药液的综合质量参数； 记录各清洗腔体药液的使用起始时间和结束时间，计算得到各清洗腔体药液的使用时长； 将各清洗腔体药液的所述综合质量参数和所述使用时长进行关联分析，采用支持向量机算法建立药液质量预测模型； 根据所述药液质量预测模型，预测各清洗腔体内药液的最佳更换时间； 步骤S2、将获取的各腔体药液质量参数实时数据输入智能控制算法模型，通过该算法模型判断各腔体当前药液质量是否满足预设的晶圆清洗工艺要求，若满足要求，则继续获取实时数据，若不满足要求，则根据药液质量参数与预设工艺要求的偏差程度，通过智能控制算法计算得到优化后的该腔体药液循环泵流量和过滤装置工作状态参数； 步骤S3、将计算得到的优化参数发送至对应清洗腔体的控制单元，调整该腔体循环泵的实际工作流量和过滤装置的实际工作状态，对该腔体的药液循环使用过程进行动态优化，使药液质量恢复至工艺要求范围内； 步骤S4、获取晶圆清洗设备的实际运行过程中各清洗腔体的工况参数以及对应的药液使用时长数据，通过机器学习算法建立各腔体药液使用时长与药液质量衰减的关联模型，动态预测各腔体的最优药液更换周期，指导药液的定期更换，减少药液浪费； 步骤S5、获取晶圆清洗设备的实际运行过程中各清洗腔体的药液循环过程参数以及对应的清洗效果检测结果，通过数据挖掘算法从历史大数据中提取各腔体药液质量、循环参数与清洗效果之间的内在关联规律，形成分腔体优化药液循环控制策略的知识库，指导各腔体智能控制算法的动态优化； 所述获步骤S5包括: 获取晶圆清洗设备运行过程中各清洗腔体的药液循环参数和对应的清洗效果检测结果，所述药液循环参数包括药液浓度、温度、流速和循环时间，所述清洗效果检测结果包括晶圆表面残留颗粒数量和有机物残留量； 对所述药液循环参数和清洗效果检测结果进行预处理，得到适合数据挖掘的历史数据集，所述预处理包括剔除异常数据、填充缺失值和对数据进行标准化处理； 采用关联规则挖掘算法从所述历史数据集中挖掘各腔体药液质量参数和循环参数与清洗效果之间的内在关联规律，得到关联规则集合； 对所述关联规则集合进行评估，剔除置信度和支持度低于预设的阈值的规则，得到优化的关联规则集合； 将所述优化的关联规则集合存储到知识库中，形成分腔体的药液循环参数优化控制策略； 在晶圆清洗设备运行过程中，各清洗腔体的智能控制算法获取当前药液循环参数，并查询所述知识库中的优化控制策略； 若查询到匹配的优化控制策略，则所述智能控制算法根据该策略动态调整药液循环参数； 若未查询到匹配的优化控制策略，则所述智能控制算法维持当前药液循环参数不变，并将当前参数和清洗效果添加到所述历史数据集中，用于后续的数据挖掘过程以不断优化所述知识库的控制策略； 步骤S6、针对不同晶圆产品的清洗工艺要求，预先建立各清洗腔体的药液质量参数阈值范围，在晶圆清洗设备切换产品型号时，根据产品型号自动匹配各腔体对应的药液质量控制阈值，实现分腔体药液循环模式和参数的动态调整； 所述步骤S6包括: 获取设备当前待处理晶圆产品型号信息，根据预先建立的产品型号与清洗工艺数据库，得到当前产品型号对应的清洗工艺信息； 从所述清洗工艺信息中提取当前产品型号对应的各清洗腔体药液质量参数标准值，结合预设质量参数浮动范围，确定各清洗腔体药液质量参数阈值区间； 通过实时监测各清洗腔体药液质量参数当前值，判断所述药液质量参数当前值是否处于所述阈值区间内，若超出对应阈值区间，则生成药液质量参数调整信号； 根据所述药液质量参数调整信号，得到对应清洗腔体药液循环模式调整指令，通过执行所述药液循环模式调整指令，得到对应清洗腔体药液循环模式新状态； 基于所述药液循环模式新状态，获取对应清洗腔体药液循环参数目标值，通过调节药液循环系统组件运行状态，得到药液循环参数调整值； 判断所述药液循环参数调整值与所述药液循环参数目标值偏差是否在预设范围内，若偏差超出预设范围，则生成药液循环参数微调指令，根据所述微调指令精细调整药液循环系统组件运行状态； 通过采集药液质量参数传感器数据，判断药液质量参数是否达到预设质量标准，若未达到，则返回实时监测各清洗腔体药液质量参数当前值的步骤，循环执行直至药液质量参数达标； 步骤S7、获取晶圆清洗设备的实时运行状态数据，具体包括各清洗腔体的晶圆清洗进度和药液循环参数，通过中央控制器对各腔体的运行状态进行实时监控，当某一腔体的晶圆清洗完成后，立即切换至下一个预先配置的空闲腔体，并根据待清洗晶圆的工艺要求，从知识库中调取对应的药液循环控制策略，对新腔体的药液循环参数进行预设，实现不同晶圆产品的连续多腔体清洗； 步骤S8、根据优化后的智能控制算法和分腔体知识库，对多清洗腔体的药液循环过程进行实时监控和动态调整，当某一腔体的药液质量参数偏离预设阈值时，触发该腔体的优化控制算法，计算新的药液循环泵流量和过滤装置参数，并通过该腔体的控制单元执行调整，同时，综合分析各腔体的药液使用时长和清洗效率，动态优化多腔体协同清洗的调度策略，提高晶圆清洗的整体效率和药液利用率。

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