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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119890019B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411892275.0，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法是由张冰;李进;李士会;陈辉;南晓青;王建新;张涛设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法，远程配电柜通过动力线缆与冷源连接；冷源通过网线和气体输送管道与阀箱连接，阀箱通过管道分别与预冷腔体和低温靶台连接；第一低温靶盘固定在预冷腔体中，并通过输出线缆与吸附电源连接；冷却环和第二低温靶盘均固定在低温靶台上；冷源通过控制线缆与第一ADIO控制器连接，阀箱通过控制线缆与第二ADIO控制器连接，吸附电源通过控制线缆与第三ADIO控制器连接，三个ADIO控制器均通过光纤连接工控机。本发明具有结构紧凑、稳定性高且操作便捷等特点，解决了特殊产品注入工艺对离子定向定位注入的需求问题，满足了市场对离子注入机工艺要求多样化的需求。

本发明授权一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法在权利要求书中公布了：1.一种应用于离子注入机的低温注入控制系统，其特征在于，包括：远程配电柜1、冷源2、阀箱3、预冷腔体4、第一低温靶盘5、吸附电源6、低温靶台7、冷却环8、第二低温靶盘9，第一ADIO控制器10、第二ADIO控制器11、第三ADIO控制器12和工控机13；所述远程配电柜1的输出端口通过动力线缆与冷源2连接；所述冷源2通过网线和气体输送管道与阀箱3连接，所述阀箱3通过输出管道分别与预冷腔体4和低温靶台7连接；所述第一低温靶盘5固定在预冷腔体4中，并通过输出线缆与吸附电源6连接；所述冷却环8和第二低温靶盘9均固定在低温靶台7上，且第二低温靶盘9位于冷却环8上方；所述冷源2通过控制线缆与第一ADIO控制器10连接，所述阀箱3通过控制线缆与第二ADIO控制器11连接，所述吸附电源6通过控制线缆与第三ADIO控制器12连接，所述第一ADIO控制器10、第二ADIO控制器11和第三ADIO控制器12分别通过光纤连接工控机13的通讯口； 所述低温靶台7包括靶台进气管201、靶台出气管202、第一冷却环气缸203、第一温度传感器204、第二冷却环气缸207和气浮轴208；所述第一温度传感器204设置在第二低温靶盘9中，以进行温度闭环控制；所述气浮轴208固定于低温靶台7下端，用于支撑低温靶台7上下运动，所述靶台进气管201和靶台出气管202贯穿在气浮轴208，靶台进气管201和靶台出气管202的一端连接至冷却环8，靶台进气管201和靶台出气管202的一端连接至阀箱3，以实现低温气体进出冷却环8；所述第一冷却环气缸203和第二冷却环气缸207位于冷却环8外侧，当系统运行时，第一冷却环气缸203和第二冷却环气缸207带动冷却环8伸出将第二低温靶盘9包裹住，低温气体通过冷却环8将第二低温靶盘9及吸附的晶圆降温。

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