深圳市智力昌智能设备有限公司陆立昌获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市智力昌智能设备有限公司申请的专利一种用于半导体加工的等离子清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119890097B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510308092.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于半导体加工的等离子清洗机是由陆立昌;邓毕静;李万杨;陈浩杰;邓武权;缪影华设计研发完成，并于2025-03-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体加工的等离子清洗机在说明书摘要公布了：本发明涉及等离子清洗机技术领域，公开了一种用于半导体加工的等离子清洗机，包括主体组件，包括主机，所述主机底部固定有连接套，所述连接套底部设置有绝缘套，所述绝缘套外侧套设有内套管，所述内套管外侧套设有外套管，所述外套管底部设置有喷头；固定组件，设置于所述外套管内，包括固定于所述外套管内壁的挤压环，所述内套管底部设置有挤压柱，所述外套管内固定有安装套，所述安装套内设置有卡块，所述主机底部固定有固定套。本发明有益效果为：通过固定组件的设置，在对枪头拆卸和安装固定时，可一次完成对多个部件的拆卸或者固定，从而可减少维修时间，且避免遗漏对某个部件固定的情况。
本发明授权一种用于半导体加工的等离子清洗机在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体加工的等离子清洗机，其特征在于：包括， 主体组件100，包括主机101，所述主机101底部固定有连接套102，所述连接套102底部设置有绝缘套103，所述绝缘套103外侧套设有内套管104，所述内套管104外侧套设有外套管105，所述外套管105底部设置有喷头106； 固定组件200，设置于所述外套管105内，包括固定于所述外套管105内壁的挤压环201，所述内套管104底部设置有挤压柱202，所述外套管105内固定有安装套203，所述安装套203内设置有卡块204，所述主机101底部固定有固定套205，所述固定套205上开设有定位槽205-1，所述外套管105一侧固定有定位轴206。
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