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龙图腾网获悉中国科学院半导体研究所申请的专利阵列功率均衡的波分解复用芯片获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119960103B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311477545.7，技术领域涉及：G02B6/12；该发明授权阵列功率均衡的波分解复用芯片是由王文钰;赵泽平;刘建国设计研发完成，并于2023-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本阵列功率均衡的波分解复用芯片在说明书摘要公布了：本公开提供一种阵列功率均衡的波分解复用芯片，包括：衬底；输入光波导，形成于衬底上，输入光波导适用于输入待处理的包含多个波长的光信号；马赫曾德尔干涉模块，形成于衬底上，马赫曾德尔干涉模块适用于使包含多个波长的光信号发生干涉从而分别从马赫曾德尔干涉模块的多个输出光波导输出；调制阵列模块，形成于衬底上，调制阵列模块包括：多组对称调制臂；多个调制波导和有间隔地设置在调制波导上的多个加热电极，多个调制波导分别与多组对称调制臂连接，通过对加热电极施加电压，利用热光效应改变不同波长的光信号的输出功率，以使各个波长的光信号的功率均衡；多个传输电极，分别与多个加热电极电连接，以将外部电压传输至加热电极上。

本发明授权阵列功率均衡的波分解复用芯片在权利要求书中公布了：1.一种阵列功率均衡的波分解复用芯片，包括： 衬底； 输入光波导，形成于所述衬底上，所述输入光波导适用于输入待处理的包含多个波长的光信号； 马赫曾德尔干涉模块，形成于所述衬底上，所述马赫曾德尔干涉模块适用于使包含多个波长的所述光信号发生干涉从而分别从所述马赫曾德尔干涉模块的多个输出光波导输出，所述马赫曾德尔干涉模块为多级马赫曾德尔干涉单元级联，以增大所述光信号的带宽，所述马赫曾德尔干涉模块包括： 第一马赫曾德尔干涉单元，包括： 第一耦合波导； 第一非对称延长臂，适用于作为延迟线改变所述包含多个波长的光信号的相位差； 第一定向耦合波导，适用于对改变相位差后的光信号进行功率分配； 干涉部，所述干涉部通过不同波长的光信号在不同相位差下互相干涉，从而分别从所述第一马赫曾德尔干涉单元的第一输出光波导和第二输出光波导输出，所述干涉部包括依次连接的第一子干涉单元和第二子干涉单元，所述第一子干涉单元和所述第二子干涉单元分别包括： 第二非对称延长臂，适用于作为延迟线改变功率分配后的光信号的相位差； 第二定向耦合波导，适用于对由所述第二非对称延长臂输出的光信号进行功率分配； 两个第二马赫曾德尔干涉单元，两个所述第二马赫曾德尔干涉单元的输入端口分别与所述第一马赫曾德尔干涉单元的所述第一输出光波导和所述第二输出光波导连接，所述第二马赫曾德尔干涉单元包括依次连接的第二耦合波导、第三非对称延长臂、第三定向耦合波导、第四非对称延长臂和第四定向耦合波导；以及 调制阵列模块，形成于所述衬底上，所述调制阵列模块包括： 多组对称调制臂，适用于分别接收来自所述马赫曾德尔干涉模块的多个输出光波导的不同波长的光信号； 多个调制波导和有间隔地设置在所述调制波导上的多个加热电极，所述多个调制波导分别与所述多组对称调制臂连接，通过对所述加热电极施加电压，利用热光效应改变不同波长的光信号的输出功率，以使各个波长的光信号的功率均衡；以及 多个传输电极，分别与所述多个加热电极电连接，以将外部电压传输至所述加热电极上。

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