北京理工大学;北京理工大学长三角研究院(嘉兴)彭礼超获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学;北京理工大学长三角研究院(嘉兴)申请的专利一种大面积相位图案加工方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119973346B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510394672.3，技术领域涉及：B23K26/046；该发明授权一种大面积相位图案加工方法及装置是由彭礼超;周旺;胡广潇;徐可米设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大面积相位图案加工方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种大面积相位图案加工方法及装置，属于相位板加工领域。方法包括：将待加工相位图案划分为多个分块；基于选定所述多个分块的一个分块，控制第一位移台移动基片相应位置至光处理位置；控制第二位移台基于所述第一位移台移动方向在所述分块内移动所述基片，并进行光处理；选定所述多个分块的下一个分块；重复上述步骤，直至完成所述多个分块加工。该方法能够实现极高精度的大面积图案转移，克服了传统加工技术在面积和精度之间难以平衡的难题，该方法所制备的相位片面积大、精细度高、稳定性强，并且可依据实际需要灵活调整和制备不同的图案。
本发明授权一种大面积相位图案加工方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种大面积相位图案加工方法，其特征在于，包括步骤： S1、将待加工相位图案划分为多个分块； S2、基于选定所述多个分块的一个分块，控制第一位移台移动基片相应位置至光处理位置，基于所述第一位移台的移动方向和经验误差值，对第二位移台的移动进行误差补偿； 控制第二位移台基于所述第一位移台移动平面在所述一个分块内移动所述基片，调整单束飞秒激光聚焦于所述基片的高度位置，基于所述分块对所述基片进行分层光处理；选定所述多个分块的下一个分块； S3、重复执行所述S2步骤，直至完成所述多个分块加工； S4、将所述基片放置在显影液中进行显影； S5、将所述相位图案对应的图形转移到所述基片上； 其中，所述步骤S5包括： S501、蒸镀铬元素至S4得到的所述基片； S502、使用去胶液处理S501得到的所述基片，并清洗； S503、使用刻蚀机刻蚀处理所述S502得到的所述基片； S504、使用铬蚀刻液去除所述S503得到的基片铬层，并清洗。
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