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北京师范大学陈建军获国家专利权

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龙图腾网获悉北京师范大学申请的专利基于单侧单次反射的实时原位光谱集成测量方法及其装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119985344B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510126613.8,技术领域涉及:G01N21/25;该发明授权基于单侧单次反射的实时原位光谱集成测量方法及其装置是由陈建军;王永设计研发完成,并于2025-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。

基于单侧单次反射的实时原位光谱集成测量方法及其装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于单侧单次反射的实时原位光谱集成测量方法及其装置。本发明通过单侧单次测量薄膜‑反射面系统的反射率,直接计算得到薄膜的光强透过率,不需要提前知道薄膜材料的介电常数和薄膜的厚度;测量不同波长的薄膜透过率就能够得到薄膜的透过谱;此过程只对薄膜‑反射面系统的反射光强进行了一次测量,不涉及到光的振幅叠加或光的干涉;更重要的是,入射光和反射面原路返回的光共线,都在样品的同一侧,这让整个测量系统变得非常紧凑,易于集成;进一步增大入射角度,薄膜表面反射的光和反射面反射的光都不会被系统测量到,因此该测量装置能够在连续光或单色光的激发下直接测量薄膜的荧光光谱。

本发明授权基于单侧单次反射的实时原位光谱集成测量方法及其装置在权利要求书中公布了:1.一种基于单侧单次反射的实时原位光谱集成测量方法,其特征在于,所述测量方法包括以下步骤: 1搭建实时原位光谱集成测量装置: 将待测量的薄膜设置在透光的衬底上,薄膜上方为环境;衬底的透过率Ts≥5%; 将衬底放置在反射面上,构成薄膜-反射面系统,反射面设置在样品台上;反射面为平面反射面或曲面反射面;反射面为平面反射面时,待测量的薄膜表面与反射面所在的平面之间的夹角为倾斜角β;反射面为曲面反射面时,待测量的薄膜表面与反射点的切面之间的夹角为倾斜角β,β>0; 在薄膜之上方设置入射光路和出射光路;光源耦合至入射光路,出射光路的末端耦合至探测器或光谱仪,探测器或光谱仪连接至计算机; 2光束传播: 平行光束:光源发出的光经准直后变成平行光束经入射光路入射到薄膜上,光束的光强为I0;入射光以入射角α入射到薄膜的表面,α=β>0,一部分光反射到环境中,另一部分光经薄膜和衬底折射后垂直入射到反射面,然后被反射面垂直反射沿原路返回,最后从薄膜的上表面折射至环境中; 发散光束:光源发出的光不准直形成发散光束经入射光路入射到薄膜上,光束的光强为I0,发散角为γ=arcsinNA,NA为出射光路的光纤或者透镜的数值孔径;发散光束最中间的光线即主光线以入射角α入射到薄膜的表面,α>arcsinNA并且α≥β>0,一部分光反射到环境中,发散光束中与反射面垂直的那部分光即与主光线的夹角为α-β的光经薄膜和衬底折射后垂直入射到反射面,然后被反射面垂直反射沿原路返回,最后从薄膜的上表面折射至环境中; 3光束接收: 从薄膜-反射面系统的上表面折射至环境中的光束,经出射光路由探测器或光谱仪接收,得到从薄膜-反射面系统的上表面折射至环境中的光束的光强IR; 4光强公式: 从薄膜-反射面系统的上表面折射至环境中的光束的光强IR满足: IR=I0×T×Ts×Rm×Ts×T 其中,T为薄膜的光强透过率,Ts为衬底的光强透过率,Rm为反射面的光强反射率; 5反射率公式: 根据步骤4的光强公式,得到薄膜-反射面系统的反射率R为: 6得到透过率: 根据已知的衬底的光强透过率Ts和反射面的光强反射率Rm,利用步骤5的反射率公式,进一步得到薄膜的光强透过率T: 从而通过测量薄膜-反射面系统的反射率R直接求出薄膜的光强透过率T,而不需要提前知道薄膜材料的复折射率和薄膜的厚度,适合对薄膜生长过程中的实时原位测量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京师范大学,其通讯地址为:100875 北京市海淀区新街口外大街19号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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