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龙图腾网获悉纳设智能装备(江苏)有限公司申请的专利反应腔装置及加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120060824B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510138932.0，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权反应腔装置及加工方法是由王彦涛;胡雄武;赵宝鑫;陈炳安;钟国仿设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本反应腔装置及加工方法在说明书摘要公布了：本发明涉及原子沉积技术领域，特别涉及一种反应腔装置及加工方法。反应腔装置包括第一容器和导管组件，第一容器限定出第一容腔，第一容腔适于容纳待加工件，导管组件连接于第一容器，导管组件包括分别连通第一容腔的第一导管、第二导管、第三导管以及第四导管。第一导管适于向第一容腔内导入第一反应物，第二导管被配置为在向第一容腔内导入第一反应物时将未附着于待加工件表面的第一反应物导出第一容腔，第三导管适于向第一容腔内导入第二反应物，第四导管被配置为在向第一容腔内导入第二反应物时将未与第一反应物发生反应的第二反应物导出第一容腔。加工方法包括利用上述反应腔装置生产待加工件。本反应腔装置的维护成本低。

本发明授权反应腔装置及加工方法在权利要求书中公布了：1.反应腔装置，其特征在于，包括： 第一容器，所述第一容器限定出第一容腔，所述第一容腔适于容纳待加工件； 导管组件，所述导管组件连接于所述第一容器，所述导管组件包括分别连通所述第一容腔的第一导管、第二导管、第三导管以及第四导管； 其中，所述第一导管适于向所述第一容腔内导入第一反应物，所述第一反应物能够附着于所述待加工件的表面，所述第二导管被配置为在向所述第一容腔内导入所述第一反应物时将未附着于所述待加工件表面的所述第一反应物导出所述第一容腔，所述第三导管适于向所述第一容腔内导入第二反应物，所述第二反应物能够附着于所述待加工件的表面并与所述第一反应物发生反应而在所述待加工件的表面生成薄膜，所述第四导管被配置为在向所述第一容腔内导入所述第二反应物时将未与所述第一反应物发生反应的所述第二反应物导出所述第一容腔； 围绕所述待加工件的周向，所述第一容腔内设置有第一匀流板、第二匀流板、第三匀流板以及第四匀流板； 所述第一匀流板包括第一导流孔和第一出气孔，所述第一导流孔和所述第一导管连接，所述第一出气孔朝向所述待加工件；所述第二匀流板包括第二导流孔和第二出气孔，所述第二导流孔和所述第二导管连接，所述第二出气孔朝向所述待加工件；所述第三匀流板包括第三导流孔和第三出气孔，所述第三导流孔和所述第三导管连接，所述第三出气孔朝向所述待加工件；所述第四匀流板包括第四导流孔和第四出气孔，所述第四导流孔和所述第四导管连接，所述第四出气孔朝向所述待加工件； 所述第一容腔内设置有固定支架，所述第一匀流板连接第一驱动杆，所述第一驱动杆被配置为驱动所述第一匀流板朝靠近或者远离所述待加工件的方向运动；所述第二匀流板连接第二驱动杆，所述第二驱动杆被配置为驱动所述第二匀流板朝靠近或者远离所述待加工件的方向运动；所述第三匀流板连接第三驱动杆，所述第三驱动杆被配置为驱动所述第三匀流板朝靠近或者远离所述待加工件的方向运动； 其中，所述固定支架设置于所述第四匀流板。

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