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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利金属掩膜版关键尺寸量测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120279016B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510757925.9，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权金属掩膜版关键尺寸量测方法是由康紫彤;蔡俊飞;韩真真;姚叶辉设计研发完成，并于2025-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本金属掩膜版关键尺寸量测方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种金属掩膜版关键尺寸量测方法。该方法在背光源开启、玻璃载台上无测试样品的状态下，获取第一量测图像。根据第一量测图像计算量测设备的固有补偿值，相当于将背光源和玻璃载台的照度不均匀性通过固有补偿值进行了量化，为后续基于设备固有误差的补偿提供了基础数据。本申请中，根据灰阶值和间距尺寸的关系式，对待测试样品的关键尺寸量测值进行补偿，消除量测设备影响，提高量测精度和可靠性。

本发明授权金属掩膜版关键尺寸量测方法在权利要求书中公布了：1.一种金属掩膜版关键尺寸量测方法，应用于金属掩膜版关键尺寸的量测设备，所述金属掩膜版具有第一表面和第二表面，在上述表面上分别具有间隔设置的多个第一孔和多个第二孔，所述关键尺寸为所述第一孔和所述第二孔交汇处的最小开口尺寸，其特征在于，包括以下步骤： S01，在背光源开启、玻璃载台上无测试样品的状态下，获取第一量测图像，并结合灰阶值和间距尺寸的关系式计算所述量测设备在不同预设测试点位的关键尺寸的固有补偿值，A为所有预设测试点位的总数量，a≤A，A和a均为正整数；其中，将所述第一量测图像在不同预设测试点位的灰阶值带入灰阶值和间距尺寸的关系式得出的不同预设测试点位的间距尺寸为所述量测设备在不同预设测试点位的关键尺寸的固有补偿值； S02，在背光源开启、玻璃载台上放置待测试样品的状态下，获取第二量测图像，以及基准点位和第b个测试点位的位置坐标，B为所有测试点位的总数量，b≤B，B和b均为正整数，其中，B＜A； S03，判断S01中所采用的灰阶值和间距尺寸的关系式所反映的金属掩膜版的孔的形状和尺寸，与S02中所述待测试样品的孔的形状和尺寸是否一致； S04，当孔的形状和尺寸均一致，或者，孔的形状不一致时，采用第一修正方法进行测量；当孔的形状一致但孔的尺寸不一致时，采用与所述第一修正方法不同的第二修正方法进行测量； 其中，所述灰阶值和间距尺寸的关系式建立的步骤，包括： S10，在背光源开启并固定设置于玻璃载台中心、玻璃载台上放置标准样品的状态下，确定基准点位0，0，并获取所述基准点位的标准图像； S20，从所述标准图像中选择与标准孔尺寸相一致的多个处理范围，并对每一个所述处理范围内的图像信息进行图像处理，以得到M张处理图像，共形成M个数据组Xi，Yi； 其中，所述图像处理的过程包括在0到255之间设置不同的灰阶阈值，观察所述处理范围内是否能形成标准孔的边界轮廓，若在某灰阶阈值下，形成了标准孔的边界轮廓，则记录该灰阶阈值下所述处理范围的灰阶值Xi和标准孔关键尺寸的量测值Yi，其中，标准孔关键尺寸的量测值Yi通过边界轮廓计算得出； S30，对M个所述数据组Xi，Yi进行数据拟合，得出灰阶值X和标准孔关键尺寸Y之间的关系式。

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