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龙图腾网获悉武汉衡惯科技发展有限公司申请的专利一种晶圆级惯性器件测试路径规划方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120522548B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511000602.1，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种晶圆级惯性器件测试路径规划方法及系统是由黄晟;金振阳;罗戴钟;刘华启;沈金龙;蒋赐麟;蔡喜元;闫凯荣;丁铮;徐佳设计研发完成，并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆级惯性器件测试路径规划方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆级惯性器件测试路径规划方法及系统，涉及惯性器件检测技术领域，该方法通过确定索引路径的测试点位坐标以及多目探针类型，判断是否存在能被测试的待测点位；根据多目探针类型，判定待测点位的邻域的多个点位坐标是否存在坏点；移动待测点位，判定移动后的待测点位的邻域的多个点位坐标是否存在坏点，如果存在坏点，跳过移动后的待测点位，并重新确定索引路径的待测点位；如果不存在坏点，给探针台发送移动指令，将多目探针与待测点位以及邻域的多个点位连接，进行驱动端测试和检测端测试。上述方法能够在晶圆级惯性器件的批量测试过程中，进行路径规划，实时规避坏点，提高测试效率，降低测试成本。

本发明授权一种晶圆级惯性器件测试路径规划方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆级惯性器件测试路径规划方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤： S100、输入配置文件，获取索引路径以及坏点分布信息，确定索引路径的测试点位坐标以及多目探针类型； S200、判断是否存在能被测试的待测点位，如果存在跳转到步骤S300，如果不存在，跳转到步骤S600； S300、根据多目探针类型，判定所述待测点位的邻域的多个点位坐标是否存在坏点，如果存在坏点，跳转到步骤S400；如果不存在坏点，跳转到步骤S500； S400、移动所述待测点位，判定移动后的待测点位的邻域的多个点位坐标是否存在坏点，如果存在坏点，跳过所述移动后的待测点位，并重新确定索引路径的待测点位，跳转到步骤S200；如果不存在坏点，跳转到步骤S500； S500、给探针台发送移动指令，将多目探针与所述待测点位以及邻域的多个点位连接，进行驱动端测试和检测端测试；测试完成后，将测试完的所述待测点位的标签重置为已测试，跳转到步骤S200； S600、生成测试结果报告，结束测试流程。

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