无锡星微科技有限公司陆敏杰获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡星微科技有限公司申请的专利一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120527285B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510983790.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法是由陆敏杰;王兆昆;刘毫毫设计研发完成，并于2025-07-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法，属于半导体制造技术领域。本发明包括主体框架和检测台，通过可升降装载平台驱动晶圆盒升降，并集成RFID射频识别检测器、POD半导体晶圆载具开门机构、料盒类型识别模块含凸片传感器、mapping映射检测机构及碎片承接板。核心创新在于能自动区分晶圆尺寸类型、精确定位晶圆位置，结合卡扣固定、防污设计、排气洁净设计，实现高效兼容处理和污染控制。
本发明授权一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备及其应用方法在权利要求书中公布了：1.一种兼容多尺寸晶圆的晶圆盒装载设备，包括主体框架3，所述主体框架3侧面安装有检测台1，其特征在于：所述检测台1内部安装有可升降的装载平台2，顶部有与装载平台2外边缘大小相同的升降缺口18，所述装载平台2用于放置POD外壳4、POD底板43、料盒41；所述装载平台2被升降丝杆上下驱动，所述装载平台2中心设有POD开门机构21，平台边缘还设有RFID检测器22，所述检测台1在升降缺口18侧面安装有料盒类型识别模块，在升降缺口18底部侧边安装mapping检测机构12、晶圆取片口33，所述料盒类型识别模块包括料盒类型检测传感器13、六寸凸片检测传感器141、八寸凸片检测传感器142，用于区分六寸和八寸晶圆料盒，所述晶圆取片口33出口下方设有碎片承接板34，用于承接晶圆碎片，所述主体框架3上安装有进气管31和出气管32，用于在POD外壳4中充入气体，所述出气管32底部出气口在晶圆取片口33上方，所述出气管32出气口为扇形排气口35，所述进气管31通入洁净气体或惰性气体至POD外壳4内，气体经扇形排气口35排出并吹扫晶圆取片口33区域，残留碎片落入碎片承接板34。
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