青岛哈尔滨工程大学创新发展中心;哈尔滨工程大学高伟获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛哈尔滨工程大学创新发展中心;哈尔滨工程大学申请的专利一种压电微机械水声传感器、基阵以及水声成像系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120539710B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511036590.8,技术领域涉及:G01S7/524;该发明授权一种压电微机械水声传感器、基阵以及水声成像系统是由高伟;陈永耀设计研发完成,并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种压电微机械水声传感器、基阵以及水声成像系统在说明书摘要公布了:本发明提出了一种压电微机械水声传感器、基阵以及水声成像系统,属于水下探测领域。解决传统压电陶瓷和光纤传感器难以满足小型化系统的空间约束以及MEMS传感器受制于固有谐振特性导致的窄带宽与低灵敏度的问题。传感器包括:衬底、多个敏感单元组件和防护层;多个敏感单元组件在衬底上排列形成阵列;防护层覆盖在阵列表面;敏感单元组件包括基准敏感单元和补偿敏感单元,基准敏感单元与补偿敏感单元的尺寸不同,且基准敏感单元与补偿敏感单元的灵敏度曲线谐振峰相互耦合。它主要用于高精度海洋测绘、鱼群监测等场景。
本发明授权一种压电微机械水声传感器、基阵以及水声成像系统在权利要求书中公布了:1.一种压电微机械水声传感器,其特征在于,所述传感器包括: 衬底、多个敏感单元组件和防护层; 所述多个敏感单元组件在衬底上排列形成阵列;所述防护层覆盖在阵列表面; 每个敏感单元组件包括至少一个基准敏感单元和至少一个补偿敏感单元,所述基准敏感单元与补偿敏感单元的尺寸不同,且基准敏感单元与补偿敏感单元的灵敏度曲线谐振峰相互耦合; 所述敏感单元的谐振频率介于50kHz-3000kHz,每个敏感单元包括上电极、压电层和下电极,声波作用时压电层产生极化并在所述上电极和下电极表面产生电荷,通过上电极和下电极输出电信号; 所述基准敏感单元与补偿敏感单元为类胶囊形结构,所述类胶囊形结构由矩形振膜与半椭圆或半圆振膜组合而成;所述矩形振膜的短边与半椭圆短轴或半圆直径相等。
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