Document
拖动滑块完成拼图
个人中心

预订订单
商城订单
发布专利 发布成果 人才入驻 发布商标 发布需求

请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励

投诉建议

在线咨询

联系我们

龙图腾公众号
首页 专利交易 IP管家助手 科技果 科技人才 积分商城 国际服务 商标交易 会员权益 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 华芯程(杭州)科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权

华芯程(杭州)科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利版图的SSA规则计算方法、装置、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120542363B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511032302.1,技术领域涉及:G06F30/392;该发明授权版图的SSA规则计算方法、装置、电子设备及存储介质是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

版图的SSA规则计算方法、装置、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了一种版图的SSA规则计算方法、装置、电子设备及存储介质。该方案可以根据版图对应的焦距曝光矩阵数据以及预设规则确定工艺窗口要求数据表,数据表记录不同中心距下满足光刻工艺窗口的最小线宽和最小间距,根据预设的线宽区间序列和间距区间序列,生成预定义SSA规则表,遍历预定义SSA规则表的每个单元格,根据数据表计算每个单元格对应的补偿值,将补偿值填入预定义SSA规则表,输出最终SSA规则表。本申请实施例通过版图的焦距曝光矩阵数据生成工艺窗口要求数据表,再计算不同线宽区间和间距区间的补偿值,从而得到SSA规则表,该SSA规则能够在使用后较大程度的保持原版图设计尺寸,且大幅提升了计算效率和准确性。

本发明授权版图的SSA规则计算方法、装置、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种版图的SSA规则计算方法,其特征在于,包括: 根据版图对应的焦距曝光矩阵数据以及预设规则确定工艺窗口要求数据表,所述数据表记录不同中心距下满足光刻工艺窗口的最小线宽和最小间距;所述预设规则包括以下条件:每个所述中心距对应的最小线宽和最小间距均不大于所述中心距的一半;所述最小线宽和最小间距随所述中心距增大而增大;当所述中心距超过数据表中的最大值时,采用所述最大值对应的最小线宽和最小间距; 根据预设的线宽区间序列和间距区间序列,生成预定义SSA规则表; 遍历所述预定义SSA规则表的每个单元格,确定当前单元格所在第n行的线宽区间[Wn,Wn+1以及所在第m列的间距区间[Sm,Sm+1,并计算当前单元格的中心距区间[Pnm,Pnm+1,其中,Pnm=Wn+Sm,Pnm+1=Wn+1+Sm+1; 计算所述中心距区间所需的最小线宽Wnm_min和最小间距Snm_min,Wnm_min=WminPnm+1,Snm_min=SminPnm+1,其中,WminPnm+1和SminPnm+1分别表示Pnm+1对应的最小线宽和最小间距; 当Wn≤Sm且Wn≥Wnm_min时,补偿值Bnm=0; 当Wn≤Sm且WnWnm_min时,补偿值Bnm=Wnm_min-Wn2; 当WnSm且Sm≥Snm_min时,补偿值Bnm=0; 当WnSm且SmSnm_min时,补偿值Bnm=-Snm_min-Sm2; 将所述补偿值填入所述预定义SSA规则表,输出最终SSA规则表。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华芯程(杭州)科技有限公司,其通讯地址为:310000 浙江省杭州市余杭区良渚街道网周路99号1幢22层2208室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。