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西湖仪器(杭州)技术有限公司刘东立获国家专利权

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龙图腾网获悉西湖仪器(杭州)技术有限公司申请的专利一种晶锭加工设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120551607B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511062100.1,技术领域涉及:B23K26/38;该发明授权一种晶锭加工设备是由刘东立;俞小英设计研发完成,并于2025-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶锭加工设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种晶锭加工设备,涉及半导体制造技术领域,包括:SIC设备,SIC设备上开设有入料口,SIC设备内设置有两条传送带用于输入物料以及输出物料;通过定位中心支撑机构的设置,通过机械定位强制晶锭中心与放置座发射的激光光路垂直线重合,精确的中心定位可使激光能量均匀作用于晶锭,避免因位置偏差导致切割路径偏移、切口不平整等问题,提高产品质量,晶锭中心与放置座发射的激光工作点自动对齐,省去传统工艺中人工调整反射镜、聚焦镜位置的步骤,提升激光加工效率与设备自动化程度,更好地减少激光能量因偏移导致的非均匀照射问题,且定位力度沿晶锭周向均匀施加,避免传统单侧夹持导致的晶锭形变。

本发明授权一种晶锭加工设备在权利要求书中公布了:1.一种晶锭加工设备,包括:SIC设备11,其特征在于:所述SIC设备11上设置有辅助加工找平机构2以及定位中心支撑机构3; 所述SIC设备11内设置有激光体12,所述激光体12的下方设置有放置座13; 所述辅助加工找平机构2包括:定位架21,所述定位架21固定连接于放置座13上表面; 所述定位架21靠近放置座13的一端开设有第一通槽22,所述定位架21远离放置座13的一端开设有第二通槽23; 所述第一通槽22内转动连接有偏重板24,所述偏重板24向放置座13的中部延伸; 所述偏重板24的上方设置有限位杆25,所述限位杆25固定连接于第一通槽22的内壁上; 所述定位架21设置有两个且以放置座13中轴线对称设置,所述第一通槽22靠近放置座13中心的一侧设置有平衡块用于限定偏重板24的平行,所述偏重板24远离放置座13中部的一端设置有配重块; 所述偏重板24设置有配重块的一端上方固定连接有U型体26,所述U型体26远离偏重板24的一端转动连接有连杆27,所述连杆27远离U型体26的一端转动连接有找平体28,所述找平体28上设置有转杆,所述找平体28的转杆两端均转动连接有电位器29,所述电位器29远离找平体28的一端固定连接于第二通槽23内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西湖仪器(杭州)技术有限公司,其通讯地址为:310000 浙江省杭州市西湖区转塘街道转塘科技经济区块2号1幢6层601室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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