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龙图腾网获悉南通富创精密制造有限公司申请的专利一种CMP抛光设备用定位夹具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120663232B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511149227.7，技术领域涉及：B24B37/30；该发明授权一种CMP抛光设备用定位夹具是由徐宏岩设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CMP抛光设备用定位夹具在说明书摘要公布了：本发明公开了一种CMP抛光设备用定位夹具，涉及晶圆加工夹具技术领域，包括外壳、支撑盘、吸附组件、定位组件和驱动组件，外壳为圆柱状壳体；支撑盘固定安装在外壳的上缘，用于支撑晶圆；吸附组件包括多个用于吸附晶圆的吸附件，吸附件活动设置于开设在支撑盘上的安装腔内；定位组件包括多个开设于支撑盘上的导向槽，导向槽内滑动设置有定位杆，还包括用于控制多个定位杆同步运动的控制件。本发明通过设置定位组件，对晶圆进行找正定位，并对晶圆施加向下的压力，使晶圆和吸盘贴合吸附，提高晶圆的稳定性，有效防止晶圆在加工过程中移位或晃动，同时使定位杆远离晶圆，使晶圆的打磨面充分的暴露，有利于对晶圆表面充分抛光。

本发明授权一种CMP抛光设备用定位夹具在权利要求书中公布了：1.一种CMP抛光设备用定位夹具，包括外壳1、支撑盘2、吸附组件3、定位组件4和驱动组件6，其特征在于，其中： 所述外壳1为圆柱状壳体； 所述支撑盘2固定安装在外壳1的上缘，用于支撑晶圆5； 所述吸附组件3包括多个用于吸附晶圆5的吸附件31，所述吸附件31活动设置于开设在支撑盘2上的安装腔21内； 所述吸附件31包括气筒311，所述气筒311顶部设置有与气筒311内部连通的吸盘312，所述气筒311内密封滑动设置有密封塞313，所述密封塞313底部固定设置有拉杆314； 所述安装腔21包括滑动部211和限位部212，所述气筒311与滑动部211滑动连接，所述气筒311外周面固定设置有限位板315，所述限位板315与限位部212之间设置有压缩弹簧316，当所述限位板315位于限位部212顶部极限位置时，所述吸盘312超出支撑盘2的顶面； 所述定位组件4包括多个开设于支撑盘2上的导向槽41，所述导向槽41内滑动设置有定位杆42，所述定位杆42包括贯穿导向槽41的杆体421，所述杆体421超出支撑盘2的部分安装有夹盘422，所述夹盘422呈倒锥形； 所述驱动组件6用于控制吸附组件3和定位组件4对晶圆5进行定位固定，所述驱动组件6包括固定设置于外壳1内的电机61，所述电机61的输出轴垂直向上并固定安装有驱动杆62，所述驱动杆62与支撑盘2转动连接，在所述驱动杆62上螺纹连接有连接板63，多个所述拉杆314底端均与连接板63固定连接； 还包括用于控制多个定位杆42同步运动的控制件43，所述控制件43包括安装环431和均匀分布于安装环431外周的抵压杆432，所述抵压杆432上开设有抵压槽433，所述杆体421延伸至抵压槽433内并与抵压槽433内壁相抵，在所述安装环431与驱动杆62之间设置有阻尼结构。

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