重庆芯联微电子有限公司吴俊廷获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利一种用于低压扩散炉的粉尘收集装置及低压扩散炉获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223453916U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422660138.6,技术领域涉及:B01D46/12;该实用新型一种用于低压扩散炉的粉尘收集装置及低压扩散炉是由吴俊廷设计研发完成,并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于低压扩散炉的粉尘收集装置及低压扩散炉在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于低压扩散炉的粉尘收集装置及低压扩散炉,包括集尘模块和过滤模块,所述集尘模块包括集尘桶,所述集尘桶的开口为进气孔,所述进气孔连接第一管道,所述集尘桶的侧面设置有出气孔,所述出气孔依次连接所述过滤模块和第二管道。本实用新型通过集尘模块和过滤模块的集成设计,通过集尘模块承接一般散装粉尘,通过过滤模块捕捉片状型冷凝或粉尘物,从而防止片状型冷凝或粉尘物掉入真空泵造成泵体宕机,从而真空泵的使用寿命,提高机台工作效率。
本实用新型一种用于低压扩散炉的粉尘收集装置及低压扩散炉在权利要求书中公布了:1.一种用于低压扩散炉的粉尘收集装置,其特征在于,包括集尘模块和过滤模块,所述集尘模块包括集尘桶,所述集尘桶的开口为进气孔,所述进气孔连接第一管道,所述集尘桶的侧面设置有出气孔,所述出气孔依次连接所述过滤模块和第二管道。
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