深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司周金鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利喷嘴组件和晶圆干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223454403U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422764832.2，技术领域涉及：B05B1/00；该实用新型喷嘴组件和晶圆干燥装置是由周金鹏;李品璋;张明瑞设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷嘴组件和晶圆干燥装置在说明书摘要公布了：一种喷嘴组件和晶圆干燥装置，喷嘴组件用于向晶圆的表面喷出流体，所述喷嘴组件包括：第一支撑臂；第一喷嘴，包括喷嘴臂和可弯曲的喷嘴部，所述喷嘴臂连接于所述第一支撑臂，所述喷嘴部设置于所述第一支撑臂的下方并连接于所述喷嘴臂，所述喷嘴部用于倾斜地向所述晶圆的表面喷出第一流体；升降单元，与所述喷嘴部连接；第一驱动单元，与所述升降单元连接，用于驱动所述升降单元升降，所述升降单元带动所述喷嘴部运动以改变弯曲角度。本申请可以防止异丙醇反溅，避免异丙醇扩散至干燥区域引起图形坍塌，以及控制异丙醇液膜的厚度。
本实用新型喷嘴组件和晶圆干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种喷嘴组件，用于向晶圆的表面喷出流体，其特征在于，所述喷嘴组件包括： 第一支撑臂； 第一喷嘴，包括喷嘴臂和可弯曲的喷嘴部，所述喷嘴臂连接于所述第一支撑臂，所述喷嘴部设置于所述第一支撑臂的下方并连接于所述喷嘴臂，所述喷嘴部用于倾斜地向所述晶圆的表面喷出第一流体； 升降单元，与所述喷嘴部连接； 第一驱动单元，与所述升降单元连接，用于驱动所述升降单元升降，所述升降单元带动所述喷嘴部运动以改变弯曲角度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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