宁夏晶环新材料科技有限公司石刚获国家专利权
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龙图腾网获悉宁夏晶环新材料科技有限公司申请的专利一种用于晶片的清洗装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223454701U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422769823.2,技术领域涉及:B08B3/02;该实用新型一种用于晶片的清洗装置是由石刚;张军;李丽;裴震;王喆设计研发完成,并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于晶片的清洗装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种用于晶片的清洗装置,该清洗装置包括预置机构、预泡机构、清洗机构和干燥机构;预泡机构设置于预置机构的一侧,预泡机构包括预泡槽,预泡槽的底部设置有预泡排水口;清洗机构设置于预泡机构的一侧,清洗机构包括清洗槽及喷淋器,喷淋器设置于清洗槽的上方,清洗槽的底部设置有清洗排水口;干燥机构设置于清洗机构的一侧,干燥机构包括干燥槽及通风器,干燥槽的底部设置有干燥排水口,在高度方向上通风器设置于干燥排水口的下方。本申请中将预置机构、预泡机构、清洗机构和干燥机构集成化布置,提升清洗装置的集成度,增加清洗处理的效率。设置通风器的干燥机构,能够提升干燥效率,提升晶片加工的整体速度。
本实用新型一种用于晶片的清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种用于晶片的清洗装置100,用于清洗研磨后的晶片,其特征在于,包括 预置机构11,所述预置机构11包括用于放置晶片的平面或槽形空间;预泡机构12,所述预泡机构12设置于所述预置机构11的一侧,所述预泡机构12包括预泡槽121,所述预泡槽121的底部设置有预泡排水口122; 清洗机构13,所述清洗机构13设置于所述预泡机构12的一侧,所述清洗机构13包括清洗槽131及喷淋器132,所述喷淋器132设置于所述清洗槽131的上方,所述清洗槽131的底部设置有清洗排水口133;以及 干燥机构14,所述干燥机构14设置于所述清洗机构13的一侧,所述干燥机构14包括干燥槽141及通风器142,所述干燥槽141的底部设置有干燥排水口143,在高度方向上所述通风器142设置于所述干燥排水口143的下方。
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