杭州富芯半导体有限公司金恒帅获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利机械手清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223454726U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422835675.X，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型机械手清洁装置是由金恒帅;解攀柱设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本机械手清洁装置在说明书摘要公布了：本申请属于半导体生产设备领域，涉及一种机械手清洁装置，其包括清洗组件和烘干组件；清洗组件包括内清洗池、超声波发生器、外清洗池；内清洗池为上方开口的箱体结构，内部盛放有清洗液，超声波发生器位于内清洗池内部并用于给机械手清洁；外清洗池为中间开孔的箱体结构，外清洗池套设在内清洗池的外周，外清洗池用于承接内清洗池溢留出的清洗液；外清洗池的底部与内清洗池的底部设有管路连通，管路上设置有过滤器，外清洗池内的清洗液经过滤器过滤后通过管路流入内清洗池，使得内清洗池内部的清洗液能够被过滤。烘干组件包括吹气部，吹气部设有多个吹气孔，吹气孔用于向被清洗后的机械手吹出热气使机械手烘干。
本实用新型机械手清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种机械手清洁装置，其特征在于， 包括清洗组件和烘干组件；所述清洗组件包括内清洗池、超声波发生器、外清洗池； 所述内清洗池为上方开口的箱体结构，内部盛放有清洗液，所述超声波发生器位于所述内清洗池内部并用于给机械手清洁； 所述外清洗池为中间开孔的箱体结构，所述外清洗池套设在所述内清洗池的外周，所述外清洗池用于承接所述内清洗池溢留出的清洗液； 所述外清洗池的底部与所述内清洗池的底部设有管路连通，所述管路上设有过滤器，所述外清洗池内的清洗液经所述过滤器过滤后通过所述管路流入内清洗池； 所述烘干组件包括吹气部，所述吹气部设有多个吹气孔，所述吹气孔用于向被清洗后的所述机械手吹出热气使所述机械手烘干。
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