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龙图腾网获悉安徽威控机械设备有限责任公司申请的专利一种一体化晶圆框清洗机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223454727U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421748147.4，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种一体化晶圆框清洗机是由高明胜;夏阳;倪凯;汪冬冬设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种一体化晶圆框清洗机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种一体化晶圆框清洗机，包括机架、控制器、清洗架组件和清洗槽组件，其中，机架垂直设置在地面，机架中端表面开设有工作腔；清洗架组件设置在工作腔内侧壁；清洗槽组件设置在工作腔内底壁；控制器设置在机架上端表面，控制器采用标准化接电插头无缝对接外部电源，控制器通过高效控制总线分别与清洗架组件和清洗槽组件相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。由此，本实用新型相较于传统清洗池，槽式设计占地面积大幅减少，且更便于在生产线上灵活部署，其中，清洗液的使用与适时更换均通过控制器实现精准管理，确保了清洗过程的稳定性和一致性，进而显著提升了产品的清洗质量，使用效果好。

本实用新型一种一体化晶圆框清洗机在权利要求书中公布了：1.一种一体化晶圆框清洗机，其特征在于，包括机架1、控制器2、清洗架组件3和清洗槽组件4，其中， 所述机架1垂直设置在地面，所述机架1中端表面开设有工作腔11； 所述清洗架组件3设置在所述工作腔11内侧壁； 所述清洗槽组件4设置在所述工作腔11内底壁； 所述控制器2设置在所述机架1上端表面，所述控制器2采用标准化接电插头无缝对接外部电源，所述控制器2通过高效控制总线分别与所述清洗架组件3和所述清洗槽组件4相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控； 所述清洗架组件3包括升降滑座31、清洗框架32、电动推杆34、丝杆升降机构35和双轴电机36，其中，所述升降滑座31对称垂直滑动连接在所述工作腔11内侧壁，所述清洗框架32水平滑动连接在所述升降滑座31外表面，所述电动推杆34固定连接在所述升降滑座31外表面，并与所述清洗框架32一端固定连接，所述丝杆升降机构35对称固定连接在所述机架1内壁，并与所述升降滑座31位置相对应，所述升降滑座31一端贯穿进所述机架1内部，并与所述丝杆升降机构35相连接，所述双轴电机36固定连接在所述机架1内壁，并位于两组所述丝杆升降机构35之间，所述双轴电机36两端分别与两组所述丝杆升降机构35相连接，所述控制器2通过高效控制总线分别与所述电动推杆34和所述双轴电机36相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控； 所述丝杆升降机构35包括固定框351、螺纹丝杆352、第一锥齿轮353和第二锥齿轮354，其中，所述固定框351固定连接在所述机架1内壁，并与所述升降滑座31位置相对应，所述螺纹丝杆352转动连接在所述固定框351内壁，所述升降滑座31一端贯穿进所述固定框351内部，并螺纹连接在所述螺纹丝杆352外表面，所述第一锥齿轮353固定连接在所述螺纹丝杆352顶部，所述第二锥齿轮354转动连接在所述固定框351内壁，并与所述第一锥齿轮353相互啮合，所述双轴电机36输出端通过联轴器与所述第一锥齿轮353中心轴一端固定连接； 所述清洗槽组件4包括清洗槽体41、液位传感器42、浓度传感器43、超音波发生器44、水注入组件45、清洗液注入组件46和废液排出组件47，其中，所述清洗槽体41对称固定连接在所述工作腔11内底壁，并与所述清洗框架32位置相对应，所述液位传感器42、所述浓度传感器43和所述超音波发生器44分别固定连接在所述清洗槽体41内壁，所述水注入组件45、所述清洗液注入组件46和所述废液排出组件47沿Z轴方向由上往下依次设置在所述机架1内壁，所述水注入组件45一端和所述清洗液注入组件46一端分别与所述清洗槽体41内腔上端相连通，所述废液排出组件47一端与所述清洗槽体41内腔底部相连通，所述控制器2通过高效控制总线分别与所述液位传感器42、所述浓度传感器43、所述超音波发生器44、所述水注入组件45、所述清洗液注入组件46和所述废液排出组件47相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控； 所述水注入组件45与所述清洗液注入组件46结构相同，所述水注入组件45包括两组进液主管道451、进液电磁阀452、流量检测仪453、两组分液端座454和储液箱455，其中，两组所述分液端座454、两组所述进液主管道451和所述储液箱455分别设置在所述机架1内壁，所述进液电磁阀452和所述流量检测仪453分别固定连接在两组所述进液主管道451上，两组所述进液主管道451的输出端分别与两组所述分液端座454的输入端相连接，两组所述进液主管道451的输入端分别与所述储液箱455的输出端相连接，两组所述分液端座454的输出端分别与两组所述清洗槽体41内腔上端相连通； 所述废液排出组件47包括两组排液主管道471、排液电磁阀472和废液储存箱473，其中，两组所述排液主管道471和所述废液储存箱473分别设置在所述机架1内壁，两组所述排液主管道471的输入端分别与两组所述清洗槽体41内腔底部相连通，两组所述排液主管道471的输出端分别与所述废液储存箱473内部相连通，所述排液电磁阀472分别固定连接在两组所述排液主管道471上； 所述控制器2通过高效控制总线分别与所述进液电磁阀452、所述流量检测仪453和所述排液电磁阀472相连接，实现精准指令传输与设备运行状态全面监控。

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