中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司王超获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利研磨装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223455762U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423019035.8，技术领域涉及：B24B37/20；该实用新型研磨装置是由王超;李浩;朱惠;邓国强;丁杰设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种研磨装置，该研磨装置包括研磨垫、研磨垫的修整器和研磨垫消耗检测装置，修整器与研磨垫接触；研磨垫消耗检测装置包括涡流传感器、频率检测模块和消耗确定模块，涡流传感器可拆卸设置在修整器上，频率检测模块的一端与涡流传感器电连接，频率检测模块的另一端与消耗确定模块电连接；频率检测模块用于在涡流传感器随修整器向研磨垫靠近的情况下，检测涡流传感器对应的频率数据，并发送至消耗确定模块，消耗确定模块用于基于频率数据确定研磨垫的消耗数据。本实用新型能够自动确定研磨垫的消耗数据，同时提升消耗数据确定的精度和效率。
本实用新型研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种研磨装置，其特征在于，所述研磨装置包括研磨垫1、所述研磨垫1的修整器2和研磨垫消耗检测装置，所述修整器2与所述研磨垫1接触；所述研磨垫消耗检测装置包括涡流传感器3、频率检测模块110和消耗确定模块120，所述涡流传感器3可拆卸设置在所述修整器2上，所述频率检测模块110的一端与所述涡流传感器3电连接，所述频率检测模块110的另一端与所述消耗确定模块120电连接； 所述频率检测模块110用于在所述涡流传感器3随所述修整器2向所述研磨垫1靠近的情况下，检测所述涡流传感器3对应的频率数据，并发送至所述消耗确定模块120，所述消耗确定模块120用于基于所述频率数据确定所述研磨垫1的消耗数据。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，其通讯地址为：201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号3号楼5楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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