深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司陈先辉获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利一种防溅装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223455763U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422952112.9，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种防溅装置是由陈先辉设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防溅装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种防溅装置，应用于化学机械研磨机台，防溅装置用于阻挡研磨台飞溅出来的液体，包括：防溅挡板，防溅挡板围绕研磨台设置，防溅挡板包括多个首尾相接的挡板部件，相邻两个的挡板部件可拆卸连接；多个固定组件，挡板部件可拆卸地连接于固定组件，至少部分挡板部件与固定组件相对应。本申请通过改变防溅挡板的内部结构以及固定方式，使得防溅挡板的拆装更加灵活，降低了成本，同时也可以防止因人工安装失误而造成防溅挡板变形，避免了化学机械研磨机台的研磨垫与防溅挡板的内部干涉，提高了效率。
本实用新型一种防溅装置在权利要求书中公布了：1.一种防溅装置，应用于化学机械研磨机台，所述防溅装置用于阻挡研磨台飞溅出来的液体，其特征在于，包括： 防溅挡板，所述防溅挡板围绕所述研磨台设置，所述防溅挡板包括多个首尾相接的挡板部件，相邻两个的所述挡板部件可拆卸连接； 多个固定组件，所述挡板部件可拆卸地连接于所述固定组件，至少部分所述挡板部件与所述固定组件相对应。
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