深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司张开定获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利一种化学机械抛光设备的清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223455764U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422974788.8，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型一种化学机械抛光设备的清洗装置是由张开定设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光设备的清洗装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种化学机械抛光设备的清洗装置，包括：保湿立柱，内设有管路；保湿立柱上自下而上设置有多个喷嘴，多个喷嘴均与管路连通，多个喷嘴至少包括第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴和第四喷嘴；其中，第一喷嘴，用于清洗化学机械抛光设备的晶圆承载部件区域；第二喷嘴，用于清洗化学机械抛光设备的抛光头区域；第三喷嘴，用于清洗化学机械抛光设备的主轴与法兰连接部分区域；第四喷嘴，用于清洗化学机械抛光设备的通用过程自动化组件覆盖板区域。本申请通过在保湿立柱中设置不同的喷嘴分别清洗化学机械抛光设备的不同区域，扩大保湿立柱的保湿范围，提高保湿清洗能力，从而降低在抛光过程中抛光液在设备中结晶的风险，保障抛光效果。
本实用新型一种化学机械抛光设备的清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置包括： 保湿立柱，内部设有管路； 所述保湿立柱上自下而上设置有多个喷嘴，多个所述喷嘴均与所述管路连通，多个所述喷嘴中至少包括第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴和第四喷嘴； 其中，所述第一喷嘴，用于清洗所述化学机械抛光设备的晶圆承载部件区域； 所述第二喷嘴，用于清洗所述化学机械抛光设备的抛光头区域； 所述第三喷嘴，用于清洗所述化学机械抛光设备的主轴与法兰连接部分区域； 所述第四喷嘴，用于清洗所述化学机械抛光设备的通用过程自动化组件覆盖板区域。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，其通讯地址为：518111 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园D栋101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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