幂帆科技(上海)股份有限公司葛春华获国家专利权
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龙图腾网获悉幂帆科技(上海)股份有限公司申请的专利一种晶圆膜的撕膜机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223457264U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422799261.6,技术领域涉及:B65B69/00;该实用新型一种晶圆膜的撕膜机构是由葛春华;陆宁宁;夏笔健设计研发完成,并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆膜的撕膜机构在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体加工技术领域,是关于一种晶圆膜的撕膜机构,其包括:第一贴膜机构和第一夹膜机构,所述第一贴膜机构对晶圆吸附卡盘上的晶圆的晶圆膜贴上热熔胶膜;所述第一夹膜机构对热熔胶膜进行夹持并移动至预设位置。采用上述结构后,其有益效果是:能够全自动进行撕膜,无须手动撕膜,提升作业效率。
本实用新型一种晶圆膜的撕膜机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆膜的撕膜机构,其特征在于,其包括:第一贴膜机构和第一夹膜机构,所述第一贴膜机构对晶圆吸附卡盘上的晶圆的晶圆膜贴上热熔胶膜;所述第一夹膜机构对热熔胶膜进行夹持并移动至预设位置; 所述第一贴膜机构包括第一贴膜底座,所述第一贴膜底座上转动连接有第一卷膜辊,所述第一贴膜底座上连接有第一贴膜电机,所述第一贴膜电机的活动端与第一卷膜辊相连接;所述第一卷膜辊上连接有热熔胶膜;所述第一贴膜底座上形成有第一导出通道, 所述第一贴膜底座上设有第一切膜组件,第一切膜组件对热熔胶膜进行切断; 所述第一夹膜机构位于第一贴膜机构的下方;所述第一夹膜机构包括转动连接于机架上的第一送膜辊轴,机架上设有第一送膜辊轴电机,所述第一送膜辊轴电机的活动端与第一送膜辊轴相连接; 所述第一夹膜机构还包括活动连接于机架上的第一进膜辊轴,所述第一进膜辊轴转动连接于第一进膜支架上,所述第一进膜支架滑动连接于机架上;机架上设有第一进膜辊轴气缸,所述第一进膜辊轴气缸的活动端与第一进膜支架相连接; 所述第一夹膜机构还包括活动连接于机架上的第一夹持组件。
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