济南量子技术研究院;合肥国家实验室张梦雨获国家专利权
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龙图腾网获悉济南量子技术研究院;合肥国家实验室申请的专利一种可真空下补充坩埚料源的电子束蒸发设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458382U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422807764.3，技术领域涉及：C23C14/30；该实用新型一种可真空下补充坩埚料源的电子束蒸发设备是由张梦雨;宿非凡;邓辉;严凯;张海斌;秦文斌;燕军祥;孙潇莹;郭旭续设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可真空下补充坩埚料源的电子束蒸发设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种可真空下补充坩埚料源的电子束蒸发设备，包括真空蒸发腔，真空蒸发腔内设有蒸发源以及坩埚承载台，真空蒸发腔的一侧设有真空辅助腔，真空辅助腔与真空蒸发腔之间设有活动密封挡板，真空辅助腔内设有存放台，真空辅助腔内还设有转送机构，所述转送机构包括升降台和转动装配在升降台上的机械臂，机械臂的尾端具有转送叉，机械臂配置有伸缩驱动电机，转送叉在跟随机械臂动作的行程中具有移动至存放台上的第一取放位，还具有在活动密封挡板打开后伸至坩埚承载台上的第二取放位，所述真空蒸发腔与真空辅助腔上各自配置有真空系统。补充料源方便，结构简单，防护性高。
本实用新型一种可真空下补充坩埚料源的电子束蒸发设备在权利要求书中公布了：1.可真空下补充坩埚料源的电子束蒸发设备，包括真空蒸发腔，真空蒸发腔内设有蒸发源以及坩埚承载台，其特征在于，真空蒸发腔的一侧设有真空辅助腔，真空辅助腔与真空蒸发腔之间设有活动密封挡板，真空辅助腔内设有存放台，真空辅助腔内还设有转送机构，所述转送机构包括升降台和转动装配在升降台上的机械臂，机械臂的尾端具有转送叉，机械臂配置有伸缩驱动电机，转送叉在跟随机械臂动作的行程中具有移动至存放台上的第一取放位，还具有在活动密封挡板打开后伸至坩埚承载台上的第二取放位，所述真空蒸发腔与真空辅助腔上各自配置有真空系统。
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