华晟昇纳米科技(成都)有限公司张斌获国家专利权
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龙图腾网获悉华晟昇纳米科技(成都)有限公司申请的专利一种能复合多种电源的磁控溅射设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458387U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422798114.7，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种能复合多种电源的磁控溅射设备是由张斌;周君君设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能复合多种电源的磁控溅射设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种能复合多种电源的磁控溅射设备，包括内部设有真空腔的设备主体，设备主体外侧设有与真空箱相连通的抽真空系统，设备主体顶部开设有三个与真空腔相连通的阴极插口，三个阴极插口分别密封连接有阴极，阴极上部分别复合有电源，阴极下部均装有靶材；真空腔内底部安装有输出轴竖直向上设置的驱动电机，驱动电机的输出轴顶端传动连接基座，基座的顶部设有基板，基板四周设有多个按照基片轮廓形状进行排布的夹持工装，三个阴极复合不同或相同类型的电源，通过电源放电激发靶材形成等离子体，等离子体在真空腔内碰撞后沉积放置于基板上的样品上。
本实用新型一种能复合多种电源的磁控溅射设备在权利要求书中公布了：1.一种能复合多种电源的磁控溅射设备，包括内部设有真空腔2的设备主体1，所述设备主体1外侧设有与所述真空腔2相连通的抽真空系统3，其特征在于：所述设备主体1顶部开设有三个与所述真空腔2相连通的阴极插口，三个所述阴极插口分别密封连接有阴极4，所述阴极4上部分别复合有电源，所述阴极4下部均装有靶材；所述真空腔2内底部安装有输出轴竖直向上设置的驱动电机5，所述驱动电机5的输出轴顶端传动连接基座6，所述基座6的顶部设有基板7，所述基板7四周设有多个按照基片17轮廓形状进行排布的夹持工装。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华晟昇纳米科技(成都)有限公司，其通讯地址为：610100 四川省成都市龙泉驿区经开区南一路1024号4栋8层804号附25号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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