深圳市科和盛业技术有限公司;东莞市科盛机电设备有限公司黄汉乐获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市科和盛业技术有限公司;东莞市科盛机电设备有限公司申请的专利阴极机构及磁控溅射装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458388U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422922047.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型阴极机构及磁控溅射装置是由黄汉乐;李轩;刘洋铭;俞理设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本阴极机构及磁控溅射装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种阴极机构及磁控溅射装置。阴极机构包括：端头，包括支撑件和对接件，所述支撑件的内部开设有与外部连通的第一接线通道，所述对接件设置于所述支撑件一侧，所述对接件开设有与第一接线通道连通的插接腔；阴极靶，包括靶管和磁棒接头，所述靶管可拆卸地连接于端头的一侧，所述磁棒接头设置于所述靶管靠近端头的一端，并插设于所述插接腔，所述磁棒接头开设有容置腔；及，传输电缆，所述传输电缆的一端位于所述端头的外部，所述传输电缆的另一端通过所述第一接线通道并插设于所述容置腔，以与所述磁棒接头电连接，所述传输电缆用于传输电力和或数据信号。本申请提供的阴极机构的连接稳定性良好，提高了溅射过程的可靠性。
本实用新型阴极机构及磁控溅射装置在权利要求书中公布了：1.一种阴极机构，其特征在于，所述阴极机构包括： 端头，包括支撑件和对接件，所述支撑件的内部开设有与外部连通的第一接线通道，所述对接件设置于所述支撑件一侧，所述对接件开设有与所述第一接线通道连通的插接腔； 阴极靶，包括靶管和磁棒接头，所述靶管可拆卸地连接于所述端头的一侧，所述磁棒接头设置于所述靶管靠近所述端头的一端，并插设于所述插接腔，所述磁棒接头开设有容置腔；及， 传输电缆，所述传输电缆的一端位于所述端头的外部，所述传输电缆的另一端通过所述第一接线通道并插设于所述磁棒接头的容置腔，以与所述磁棒接头电连接，所述传输电缆用于传输电力和或数据信号。
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