南通玖方新材料股份有限公司杨宗明获国家专利权
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龙图腾网获悉南通玖方新材料股份有限公司申请的专利一种真空蒸镀硅片承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458389U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422818709.4，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种真空蒸镀硅片承载装置是由杨宗明;高晗;张清清;宗健佳;龚汉亮设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空蒸镀硅片承载装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空蒸镀硅片承载装置，前竖梁24和后竖梁26之间设置有横梁、支撑梁13，横梁包括横梁一1、中间横梁18、横梁二25，横梁一1装配有横梁托台2，前竖梁24和后竖梁26设置有竖梁托台11，竖梁托台11通过支撑板10连接横梁，支撑梁13正面安装有带放片框29的托盘一5和托盘二22，放片框29设置有凸点30，支撑梁13的背面安装有挡板12，托盘一5的上方装配有遮板一6，托盘二22的上方装配有遮板二23，本实用新型确保了硅片承载装置的整体平面度，确保了硅片的镀膜质量。
本实用新型一种真空蒸镀硅片承载装置在权利要求书中公布了：1.一种真空蒸镀硅片承载装置，其特征在于：包括前竖梁24和后竖梁26，所述前竖梁24和后竖梁26之间设置有横梁、支撑梁13，所述横梁包括横梁一1、中间横梁18、横梁二25，所述横梁一1装配有横梁托台2，所述中间横梁18设置于前竖梁24和后竖梁26的中间位置处，所述前竖梁24和后竖梁26设置有竖梁托台11，所述竖梁托台11通过支撑板10连接横梁，所述支撑梁13正面安装有带放片框29的托盘一5和托盘二22，所述放片框29设置有凸点30，所述支撑梁13的背面安装有挡板12，所述托盘一5的上方装配有遮板一6，所述托盘二22的上方装配有遮板二23。
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