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龙图腾网获悉杭州阿童木科技有限公司申请的专利一种气相沉积设备用的载盘结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458390U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520013355.8，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种气相沉积设备用的载盘结构是由郑一格;吴波睿;刘祺;蒋李清设计研发完成，并于2025-01-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种气相沉积设备用的载盘结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气相沉积设备用的载盘结构，包括载盘，所述载盘的顶部开设有放置槽，所述放置槽的内壁开设有容纳槽，所述载盘的底部开设有限位滑槽，所述限位滑槽与放置槽贯通，所述载盘的底部开设有安装槽，所述容纳槽的内腔嵌合有夹持板，所述限位滑槽的内腔滑动连接有限位滑块，限位滑块的顶部与夹持板的底部固定连接，限位滑块的内腔螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端通过轴承与限位滑槽的内壁固定连接。本实用新型通过开设大孔径的放置槽，然后配合夹持结构对不同大小的物料进行夹持固定，且通过采用联动组件，能够一次同时对放置好的物料进行夹持固定，省时省力，极大的提高了工作效率，给日常的使用带来了极大的便利。

本实用新型一种气相沉积设备用的载盘结构在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备用的载盘结构，包括载盘1，其特征在于：所述载盘1的顶部开设有放置槽2，所述放置槽2的内壁开设有容纳槽3，所述载盘1的底部开设有限位滑槽4，所述限位滑槽4与放置槽2贯通，所述载盘1的底部开设有安装槽5，所述容纳槽3的内腔嵌合有夹持板6，所述限位滑槽4的内腔滑动连接有限位滑块，限位滑块的顶部与夹持板6的底部固定连接，限位滑块的内腔螺纹连接有螺纹杆7，所述螺纹杆7的一端通过轴承与限位滑槽4的内壁固定连接，所述螺纹杆7的另一端贯穿至安装槽5的内腔并固定连接有第一锥形齿轮8，所述第一锥形齿轮8的表面啮合有第二锥形齿轮9，所述第二锥形齿轮9的轴心处固定连接有传动轴，传动轴的一端通过轴承与安装槽5的内壁固定连接，传动轴的另一端固定连接有蜗轮10； 所述蜗轮10的表面啮合有蜗杆11，所述蜗杆11的一端通过轴承座与载盘1的底部固定连接，所述蜗杆11的另一端固定连接有第三锥形齿轮12，所述第三锥形齿轮12的表面啮合有第四锥形齿轮13，所述第四锥形齿轮13之间固定连接有转轴14，所述转轴14的一端固定连接有驱动电机15，所述驱动电机15的表面与载盘1的底部固定连接，所述转轴14的另一端通过轴承座与载盘1的底部固定连接。

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