成都超迈光电科技有限公司张松林获国家专利权
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龙图腾网获悉成都超迈光电科技有限公司申请的专利一种等离子沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223458393U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422787515.2，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种等离子沉积设备是由张松林;周君君设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及等离子沉积技术领域，具体涉及一种等离子沉积设备。一种等离子沉积设备，在所述真空室的两侧分别固定连接有射频电源接入口和真空抽气口，在真空室的顶部转动连接有原料气体接入口，在所述原料气体接入口的顶部设置有驱动机构，在原料气体接入口的底端固定连接有气体分布盘，在所述气体分布盘的底面均匀设置有多个排气孔，在真空室内壁的中部环绕设置有多个烘烤灯，在真空室的前侧开设有开口，在所述开口上配合有封板，在真空室的内部设有放置板。本实用新型通过设置气体分布盘，在驱动机构的作用下能够进行匀速转动，能够使得原料气体能够均匀地分布在真空室内，在经过射频电源的作用转变等离子体后能够均匀的沉积到基材上。
本实用新型一种等离子沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子沉积设备，其特征在于：包括真空室1，在所述真空室1的两侧分别固定连接有射频电源接入口2和真空抽气口3，在真空室1的顶部转动连接有原料气体接入口4，在所述原料气体接入口4的顶部设置有驱动机构，在原料气体接入口4的底端固定连接有气体分布盘5，在所述气体分布盘5的底面均匀设置有多个排气孔6，在真空室1内壁的中部环绕设置有多个烘烤灯7，在真空室1的前侧开设有开口8，在所述开口8上配合有封板9，在真空室1的内部设有放置板10，所述放置板10的一侧与真空室1远离开口8的内壁接触，另一侧与封板9内侧的底部固定连接，在封板9的外侧设置有限位机构，在放置板10的顶面上设置有夹持机构，在放置板10两侧的侧面上均设置有限位槽11，在放置板10的两侧设有限位杆12，所述限位杆12的一端与真空室1的内壁固定连接，另一端插入限位槽11中。
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